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AMC是什么?

AMC氣態(tài)分子污染物(Airborne Molecular Contamination)是指存在于空氣中的氣態(tài)化學物質(zhì)或揮發(fā)性有機化合物(VOCs),可能對產(chǎn)品、制程或人員造成負面影響,。這類污染物通常無法通過傳統(tǒng)的微粒過濾器(如HEPAULPA)去除,，需要特殊控制措施,。

AMC的種類

根據(jù)Semi F21-1016標準中所定義，AMC分為MA(酸性物質(zhì)/MB(堿性物質(zhì))/MC(凝結物質(zhì))/MD(參雜物質(zhì)/MM(金屬物質(zhì))五大類,，其中包含了常見的NH3,、SO2、H2S,、VOCs,、HF、HCI等,。

AMC的來源

AMC的來源相當廣泛，如制程使用的化學品,、外氣所含的污染物,、無塵室中建材釋出、人員排放等等,。

AMC的影響

微小的AMC物質(zhì)進入無塵室后,，可能造成蝕刻制程不良率提高、光阻劑變質(zhì),、晶圓污染或氧化,、光學鏡頭霧化等問題，甚至可能會影響到人體健康,，因此,，源頭管理、實時監(jiān)測與控制污染物濃度的AMC管理將成為無塵室核心的研究課題之一,。

AMC在線監(jiān)測系統(tǒng)組成

一套完整的AMC在線監(jiān)測系統(tǒng),，具有以下組成要件：

● 取樣系統(tǒng)：多流路取樣系統(tǒng)與取樣管路安裝，選擇不影響分析結果的材料,，配合監(jiān)測點規(guī)劃,，有效了解無塵室整體環(huán)境情況。

● 分析儀：根據(jù)客戶需求不同,，Thermo Fisher可提供多種在線分析儀配置,，如NH3、H2S,、VOCs,、各種陰陽離子、特殊組分VOCs等,，根據(jù)生產(chǎn)節(jié)點不同,，去分析關鍵物質(zhì)與對應濃度。

● 數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)：將不同分析儀的數(shù)據(jù)匯整并顯示出各點位的歷史數(shù)據(jù),，再配合傳輸要求,，可將數(shù)據(jù)傳輸至客戶接收端,，配合報警系統(tǒng)，有效早期預判污染物的上升趨勢,，進而調(diào)整無塵室濾材的更換頻次,，大幅提高效率。