石英晶體微天平可以測(cè)到的質(zhì)量變化相當(dāng)于單分子層或原子層的幾分之一，系統(tǒng)主要由電子振蕩電路、頻率計(jì)數(shù)器和壓電石英晶體3部分組成,。隨著射頻系統(tǒng)小型化及對(duì)晶振抗振性,、相位噪聲等參數(shù)要求越來越高,，石英晶體諧振器尺寸進(jìn)一步減小,。微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)利用IC加工技術(shù)實(shí)現(xiàn)微納米尺度加工,，在加工精度、加工手段等方面具有先天優(yōu)勢(shì),，因此石英晶體技術(shù)與技術(shù)的結(jié)合成為必然趨勢(shì),。共振頻率變化與沉積于石英晶體表面的物質(zhì)質(zhì)量成線性關(guān)系，共振時(shí)的電阻隨與表面接觸物質(zhì)的黏/彈性而變化,。

　　溫度能影響分子的聚集程度,在32℃的情況下,，會(huì)發(fā)生親水基被包進(jìn)分子內(nèi)部而發(fā)生構(gòu)型轉(zhuǎn)變導(dǎo)致其分子間斥力減小，分子卷曲而吸附于金片表面的吸附量增大同時(shí)表面粗糙度增大,、接觸角增大,，添加鹽使溶液離子強(qiáng)度增大，導(dǎo)致分子之間斥力減小而構(gòu)型趨于卷曲,，而吸附于金片上的吸附量變大,，吸附的表面形貌顆粒大、均方根粗糙度大,。適用于剛性和粘彈性薄膜,。石英晶體微天平具有倍頻操作模式，可給出薄膜的粘度,，彈性模量,，粘性模量，厚度等信息,，倍頻曲線也可以用來表征薄膜的均勻性,，用來評(píng)價(jià)沉積方法。

　　儀器內(nèi)部USB通訊接口,，相對(duì)于原有儀器,，穩(wěn)定性更強(qiáng)、通用性強(qiáng),，通信可靠不中斷,，支持自恢復(fù)連接功能。自動(dòng)切換兩路氣氛流量,，切換速度快,，穩(wěn)定時(shí)間短，標(biāo)配標(biāo)準(zhǔn)樣品,，方便客戶校正恒溫系數(shù),，預(yù)安裝軟件，無電腦適應(yīng)性問題,，減少由于更換使用電腦,，安裝驅(qū)動(dòng)錯(cuò)誤導(dǎo)致的連接等問題,，支持用戶自編程程序，實(shí)現(xiàn)測(cè)量步驟全自動(dòng)化,。軟件提供數(shù)十種指令,，用戶可根據(jù)自己的測(cè)量步驟，靈活組合各指令,，并保存,。