要沉積的材料在熱離子發(fā)射體的作用下生熱,，從而產生光子，產生的光通過濾光器,，到達光電倍增管,，可以測量通過的波長的發(fā)射強度。薄膜沉積控制儀利用流體流過發(fā)熱物體時,發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關系,，該系列流量計的傳感器有兩只標準級,，一只用來做熱源，一只用來測量流體溫度,，當流體流動時,兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關系,，再通過微電子控制技術，將這種關系轉換為測量流量信號的線性輸出,。
　　系統(tǒng)主要由蒸發(fā)室,、旋轉基片架、光加熱系統(tǒng),、電子槍及電子槍電源、石英晶體振蕩膜厚監(jiān)控儀,、工作氣路,、抽氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng),、安裝機臺等部分組成,。體現(xiàn)立方整體外觀，適用于超凈間間壁隔離安裝。
　　配以的控制系統(tǒng),，可以在工程塑料,，玻璃和金屬表面鍍制單質金屬膜、復合膜,、電磁屏蔽膜,、ITO膜。生產過程全部自動,，薄膜沉積控制儀可以實現(xiàn)連續(xù)率的磁控濺射鍍膜,。生產線可以根據需要配置多個真空室，采用立式或臥式,，每個真空室根據需要配置不同的靶材,，室與室之間采用獨立的真空抽氣系統(tǒng)，可以隨意調節(jié)各個真空室的氣體參數,，鍍制不同的膜層,，可以滿足工業(yè)化連續(xù)生產的需要。
　　該膜可以很容易地保持其形狀,，即使在復雜的基表面,，其的粘合強度，自粘性和濕應用的方法,，使建筑安全和環(huán)保,，泄漏很少一切甚至膜破裂，其良好的蠕變變形的評價,，該膜可用于鋼結構屋面的臨時修復,。晶體控制振蕩電路這樣當晶體在鍍膜過程中的電特性改變時，振蕩電路變得不穩(wěn)定和“跳躍”至另一個諧振頻率或*故障,，導致不正確的膜厚測量值,。