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冷卻水循環(huán)系統(tǒng)的工業(yè)應(yīng)用
閱讀:1465 發(fā)布時(shí)間:2019-12-20
工業(yè)應(yīng)用
對半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部分的冷卻:
單晶片洗凈轉(zhuǎn)載,、印刷機(jī),、自動(dòng)夾座安裝裝置,、噴涂裝置,、離子鍍裝置,、蝕刻裝置,、單晶片處理裝置,、切片機(jī)、包裝機(jī),、顯影劑的溫度管理,、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等,。
對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻:
激光加工,、熔接機(jī)的發(fā)熱部分、激光標(biāo)志裝置,、發(fā)生裝置,、二氧化碳激光加工機(jī)等。
其他產(chǎn)業(yè)用機(jī)器發(fā)熱部分的冷卻:
等離子熔接,、自動(dòng)包裝機(jī),、模具冷卻、洗凈機(jī)械,、鍍金槽,、精密研磨機(jī)、射出成型機(jī),、樹脂成型機(jī)的成型部分等,。
分析檢測機(jī)器的發(fā)熱部分的冷卻:
電子顯微鏡的光源、ICP發(fā)光分光分析裝置的光源部分,、分光光度計(jì)的發(fā)熱部分,、X線解析裝置的熱源、自動(dòng)脈沖條幅器的發(fā)熱部分,、原子吸光光度計(jì)的光源等,。
數(shù)控機(jī)床、加工中心冷卻介質(zhì)的降溫,。