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東莞比其爾真空機電設(shè)備有限公司
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供應(yīng)等離子刻蝕機真空泵 中國臺灣進口旋片泵
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【等離子刻蝕機真空泵工作原理】
    等離子刻蝕機,，又叫等離子蝕刻機,、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機,、等離子表面處理儀,、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子刻蝕,，是干法刻蝕中zui常見的一種形式,，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,，從而形成了等離子或離子,，電離氣體原子通過電場加速時,，會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面,。某種程度來講，等離子清洗實質(zhì)上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況,。進行干式蝕刻工藝的設(shè)備包括反應(yīng)室,、電源、真空部分,。工件送入被真空泵抽空的反應(yīng)室,。氣體被導(dǎo)入并與等離子體進行交換。等離子體在工件表面發(fā)生反應(yīng),，反應(yīng)的揮發(fā)性副產(chǎn)物被真空泵抽走,。等離子體刻蝕工藝實際上便是一種反應(yīng)性等離子工藝
離子清洗刻蝕技術(shù)是等離子體特殊性質(zhì)的具體應(yīng)用。等離子清洗刻蝕機產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個電極形成電場,，用真空泵實現(xiàn)一定的真空度,，隨著氣體愈來愈稀薄,，分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,，受電場作用，它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,，這些離子的活性很高,，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng)
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等離子刻蝕機真空泵 中國臺灣進口旋片泵主要特點
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