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東莞比其爾真空機(jī)電設(shè)備有限公司
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【等離子刻蝕機(jī)真空泵工作原理】
    等離子刻蝕機(jī),，又叫等離子蝕刻機(jī)、等離子平面刻蝕機(jī),、等離子體刻蝕機(jī),、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等,。等離子刻蝕,，是干法刻蝕中zui常見(jiàn)的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體,，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過(guò)電場(chǎng)加速時(shí),，會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面,。某種程度來(lái)講,，等離子清洗實(shí)質(zhì)上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況。進(jìn)行干式蝕刻工藝的設(shè)備包括反應(yīng)室,、電源,、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反應(yīng)室,。氣體被導(dǎo)入并與等離子體進(jìn)行交換,。等離子體在工件表面發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)的揮發(fā)性副產(chǎn)物被真空泵抽走,。等離子體刻蝕工藝實(shí)際上便是一種反應(yīng)性等離子工藝
離子清洗刻蝕技術(shù)是等離子體特殊性質(zhì)的具體應(yīng)用,。等離子清洗刻蝕機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng)，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,，隨著氣體愈來(lái)愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來(lái)愈長(zhǎng),，受電場(chǎng)作用,，它們發(fā)生碰撞而形成等離子體，這些離子的活性很高,，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,，在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng)
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等離子刻蝕機(jī)真空泵 中國(guó)臺(tái)灣進(jìn)口旋片泵主要特點(diǎn)
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