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一,、控制：

Windows PC人機交互操軟件,，多種語言（含中文）,，用戶密碼登陸管理權(quán)限，工藝二維折線圖實時顯示,，一鍵回復(fù)原廠設(shè)置,，數(shù)據(jù)備份與還原功能，數(shù)據(jù)自動存儲和導(dǎo)入導(dǎo)出功能,，可儲存100套工藝參數(shù)

二,、原料：沉積Parylene N、C,、F-VT4型

三,、沉積厚度：0.05~30um

四、沉積室直徑300mm,深度300mm

五,、轉(zhuǎn)盤直徑250mm,高度280mm,，轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速0~100%可調(diào)節(jié)

六、集成硅烷蒸發(fā)模塊,，壓力與溫度PID控制,，實現(xiàn)Parylene涂層前硅烷沉積功能，可設(shè)定蒸發(fā)器預(yù)加熱溫度,，到達設(shè)定加熱溫度后,，開始硅烷蒸發(fā)程序，同時通過腔體壓力判斷檢測硅烷蒸發(fā)量

七,、溫度控制系統(tǒng)：

1.裝料艙門溫度實時顯示設(shè)定范圍：室溫~200°C

2.蒸發(fā)器溫度實時顯示設(shè)定范圍：室溫~200°C

3.裂解艙溫度實時顯示設(shè)定溫度范圍：室溫~850°C

4.沉積室溫度實時顯示設(shè)定溫度范圍: 室溫~200°C

5.硅烷蒸發(fā)器及管道溫度設(shè)定范圍：室溫~200°C

八,、真空系統(tǒng)：

1.沉積室真空壓力檢測

2.真空泵壓力檢測

3.配有慢速抽氣模塊，可以設(shè)定慢速抽真空的時間,；

4.雙級油式旋片泵,，排氣速度60m3/H，極限真空泵小于1*10-3mbar,，噪音52bB(A),電源AC230V

九,、多重報警與報警設(shè)定功能：

1.可設(shè)定蒸發(fā)器壓力最大偏差、門溫度最大偏差,、裂解管溫度最大偏差,、壓力傳感器溫度最大偏差、腔體溫度最大偏差,、硅烷蒸發(fā)器溫度最大偏差,、硅烷管路1溫度最大偏差值；

2.保養(yǎng)周期報警提示,；

3.轉(zhuǎn)盤位置錯誤報警,；

4．詳細(xì)的報警描述，方便判斷報警原因,；

十,、冷卻方式：

液氮和冷阱頭兩種方式

冷阱頭冷卻方式：風(fēng)冷

冷阱頭低溫度-100°C,，冷頭尺寸：直徑50mm, 長度380mm

RS485通訊模塊，可以與主機通訊

冷阱尺寸：W600xD550xH1200mm

十一,、尺寸與電源

1. 外形尺寸：W1200xD700xH1100mm(不含真空泵與冷阱)

2. 電源：AC380V 3P 32A

如有需要diener plasma設(shè)備 ,，可聯(lián)系上海爾迪儀器科技有限公司