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力檢測部分

在原子力顯微鏡（AFM）的系統(tǒng)中,，所要檢測的力是原子與原子之間的范德華力。所以在本系統(tǒng)中是使用微小懸臂（cantilever）來檢測原子之間力的變化量,。微懸臂通常由一個一般100~500μm長和大約500nm~5μm厚的硅片或氮化硅片制成,。微懸臂頂端有一個尖銳針尖，用來檢測樣品－針尖間的相互作用力,。這微小懸臂有一定的規(guī)格,，例如：長度、寬度,、彈性系數(shù)以及針尖的形狀,，而這些規(guī)格的選擇是依照樣品的特性，以及操作模式的不同,，而選擇不同類型的探針,。

 

位置檢測部分

在原子力顯微鏡（AFM）的系統(tǒng)中，當(dāng)針尖與樣品之間有了交互作用之后,，會使得懸臂cantilever擺動,，當(dāng)激光照射在微懸臂的末端時，其反射光的位置也會因為懸臂擺動而有所改變,，這就造成偏移量的產(chǎn)生,。在整個系統(tǒng)中是依靠激光光斑位置檢測器將偏移量記錄下并轉(zhuǎn)換成電的信號，以供SPM控制器作信號處理,。

 

反饋系統(tǒng)

在原子力顯微鏡（AFM）的系統(tǒng)中,，將信號經(jīng)由激光檢測器取入之后，在反饋系統(tǒng)中會將此信號當(dāng)作反饋信號,，作為內(nèi)部的調(diào)整信號,，并驅(qū)使通常由壓電陶瓷管制作的掃描器做適當(dāng)?shù)囊苿樱员３謽悠放c針尖保持一定的作用力,。