在原子力顯微鏡（Atomic Force Microscope,，AFM）的系統(tǒng)中,，可分成三個(gè)部分：力檢測(cè)部分、位置檢測(cè)部分,、反饋系統(tǒng),。
力檢測(cè)部分
在原子力顯微鏡（AFM）的系統(tǒng)中，所要檢測(cè)的力是原子與原子之間的范德華力,。所以在本系統(tǒng)中是使用微小懸臂（cantilever）來(lái)檢測(cè)原子之間力的變化量,。微懸臂通常由一個(gè)一般100~500μm長(zhǎng)和大約500nm~5μm厚的硅片或氮化硅片制成。微懸臂頂端有一個(gè)尖銳針尖,，用來(lái)檢測(cè)樣品－針尖間的相互作用力,。這微小懸臂有一定的規(guī)格，例如：長(zhǎng)度,、寬度,、彈性系數(shù)以及針尖的形狀，而這些規(guī)格的選擇是依照樣品的特性,，以及操作模式的不同,，而選擇不同類型的探針,。
位置檢測(cè)部分
在原子力顯微鏡（AFM）的系統(tǒng)中，當(dāng)針尖與樣品之間有了交互作用之后,，會(huì)使得懸臂cantilever擺動(dòng),，當(dāng)激光照射在微懸臂的末端時(shí)，其反射光的位置也會(huì)因?yàn)閼冶蹟[動(dòng)而有所改變,，這就造成偏移量的產(chǎn)生,。在整個(gè)系統(tǒng)中是依靠激光光斑位置檢測(cè)器將偏移量記錄下并轉(zhuǎn)換成電的信號(hào)，以供SPM控制器作信號(hào)處理,。
反饋系統(tǒng)
在原子力顯微鏡（AFM）的系統(tǒng)中,，將信號(hào)經(jīng)由激光檢測(cè)器取入之后，在反饋系統(tǒng)中會(huì)將此信號(hào)當(dāng)作反饋信號(hào),，作為內(nèi)部的調(diào)整信號(hào),，并驅(qū)使通常由壓電陶瓷管制作的掃描器做適當(dāng)?shù)囊苿?dòng)，以保持樣品與針尖保持一定的作用力,。
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