等離子體指部分或*電離的氣體,，且自由電子和離子所帶正、負(fù)電荷的總和*抵消,，宏觀上呈現(xiàn)中性電,。等離子體又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì),，它廣泛存在于宇宙中,，常被視為是除去固、液,、氣外,，物質(zhì)存在的第四態(tài)。
原理介紹
看似“神秘”的等離子體,，其實(shí)是宇宙中一種常見的物質(zhì),，在太陽、恒星,、閃電中都存在等離子體,，它占了整個(gè)宇宙的99%。現(xiàn)在人們已經(jīng)掌握利用電場和磁場產(chǎn)生來控制等離子體,。等離子體可分為兩種：高溫和低溫等離子體,。
低溫等離子體的電離率較低，電子溫度遠(yuǎn)高于離子溫度,，離子溫度甚至可與室溫相當(dāng)。所以低溫等離子體是非熱平衡等離子體,，低溫等離子體中存在著大量的,、種類繁多的活性粒子，比通常的化學(xué)反映所產(chǎn)生的活性粒子種類更多,、活性更強(qiáng),，更易于和所接觸的材料表面發(fā)生反映,，因此它們被用來對(duì)材料表面進(jìn)行改性處理。
與傳統(tǒng)的方法相比,，等離子體表面處理具有成本低,、無廢棄物、無污染等顯著的優(yōu)點(diǎn),，同時(shí)可以得到傳統(tǒng)的化學(xué)方法難以達(dá)到的處理效果?，F(xiàn)在低溫等離子設(shè)備廣泛運(yùn)用于金屬、微電子,、聚合物,、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等多種領(lǐng)域,。
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