白光干涉儀定義:入射光為寬帶光的干涉儀。
白光干涉儀用在低相干性的干涉中,,采用白光光源,,具有很寬的帶寬。光源不一定需要在可見光譜區(qū)域,。
光源的時(shí)間相干性很低,,空間相干性很高。將燈泡發(fā)出的光射入單模光纖中就可以同時(shí)得到很高的空間相干性和很寬的帶寬,,但是這樣得到的功率較低,。
采用超輻射光源,例如超發(fā)光二極管就可以使光的亮度提高好幾個(gè)數(shù)量級(jí),。有時(shí)還可以采用可調(diào)諧激光器,。
白光干涉儀的探測(cè)器可以是光電探測(cè)器,在時(shí)間域上采集信號(hào),,也可以采用光譜儀,。
激光干涉儀定義:以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長度測(cè)量,。
激光干涉儀具有高強(qiáng)度,、高度方向性、空間同調(diào)性,、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn),。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置,、速度,、角度、真平度,、真直度,、平行度和垂直度等測(cè)量工作,,并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量儀器的校正工作,。
另外白光干涉儀和激光干涉儀的應(yīng)用領(lǐng)域區(qū)別:
白光干涉儀是用來測(cè)量三維微觀形貌的。激光干涉儀是用來檢測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)精度的
bruker白光干涉儀推薦型號(hào):ContourX-200,、ContourX-500,、GT-X,bruker白光干涉儀產(chǎn)品特點(diǎn):
·易于使用的界面
·快速準(zhǔn)確地獲得結(jié)果
·自動(dòng)化功能用于日常測(cè)量和分析
·*泛的濾鏡和分析工具選項(xiàng),,用于粗糙度和關(guān)鍵尺寸測(cè)量分析
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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