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目前各種真空泵的發(fā)展愈來愈受到真空應用場合的影響,，一般傳統(tǒng)的真空泵系統(tǒng)已無法滿足清潔無油、耐腐蝕,、耐可凝性蒸汽以及能在惡劣的工況下運行的需要，因此近幾年來干式真空泵發(fā)展很快,，真空獲得產(chǎn)品出現(xiàn)了更新?lián)Q代的局面,。

干式真空泵是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去,，泵腔內無油或其他工作介質,，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。

干式真空泵的優(yōu)點：

成本低：不耗油,，無滴漏

穩(wěn)定性：干式真空泵的性能穩(wěn)定,，噪音低，故障率低,，因此減少維修成本,。

適應力強：工作腔及螺桿轉子表面有防腐涂層，可適應惡劣工況

應用廣泛

干式機械真空泵的應用范圍：

1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中,；

2）半導體刻蝕工藝,。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

3）除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求,；

4）在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾,、干燥,、脫泡、包裝等,，要防止有機溶劑造成污染,，適合用干式真空泵；

5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,，以防止油污染,。

干式真空泵以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊,、抽氣腔元件無摩擦,、壽命長、能耗低,、無油污染等優(yōu)點,，得到越來越多制造和應用單位的重視，日本堅山KASHIYAMA工業(yè)株式會社,，多年來致力于真空技術的研究,，不斷開發(fā)進取，在半導體制造領域和高科技行業(yè)中擁有*的信譽,。尤其在半導體制造領域,，獲得了客戶的高度評價與信賴。