BRUKER納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試，測試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計算得出,，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積,。納米壓痕儀采用模塊化設(shè)計，可廣泛集成原子力顯微鏡,，光學(xué)顯微鏡,，激光干涉儀器等材料表面測量儀器，為用戶提供綜合性材料微觀力學(xué)測試方案,。
BRUKER納米壓痕儀的基本組成可以分為控制系統(tǒng),、移動線圈系統(tǒng)、加載系統(tǒng)及壓頭等幾個部分,。壓頭一般使用金剛石壓頭,，分為三角錐或四棱錐等類型。試驗時,，首先輸入初始參數(shù),，之后的檢測過程則*由微機(jī)自動控制，通過改變移動線圈系統(tǒng)中的電流,，可以操縱加載系統(tǒng)和壓頭的動作,，壓頭壓入載荷的測量和控制通過應(yīng)變儀來完成，同時應(yīng)變儀還將信號反饋到移動線圈系統(tǒng)以實現(xiàn)閉環(huán)控制,，從而按照輸入?yún)?shù)的設(shè)置完成試驗,。
BRUKER納米壓痕儀可適用于有機(jī)或無機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析,，包括PVD,、CVD、PECVD薄膜,，感光薄膜,，彩繪釉漆，光學(xué)薄膜,，微電子鍍膜,，保護(hù)性薄膜，裝飾性薄膜等等,?；w可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料，包括金屬,、合金,、半導(dǎo)體、玻璃,、礦物和有機(jī)材料等,。可用于半導(dǎo)體技術(shù)(鈍化層,、鍍金屬,、BondPads)；存儲材料(磁盤的保護(hù)層,、磁盤基底上的磁性涂層,、CD的保護(hù)層)；光學(xué)組件(接觸鏡頭,、光纖,、光學(xué)刮擦保護(hù)層)；金屬蒸鍍層,；防磨損涂層(TiN,，TiC，DLC,，切割工具),；藥理學(xué)(藥片、植入材料,、生物組織),；工程學(xué)(油漆涂料、橡膠,、觸摸屏,、MEMS)等行業(yè)。
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