BRUKER納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試,，測試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。納米壓痕儀采用模塊化設(shè)計,，可廣泛集成原子力顯微鏡,，光學(xué)顯微鏡，激光干涉儀器等材料表面測量儀器,，為用戶提供綜合性材料微觀力學(xué)測試方案,。
BRUKER納米壓痕儀的基本組成可以分為控制系統(tǒng)、移動線圈系統(tǒng),、加載系統(tǒng)及壓頭等幾個部分。壓頭一般使用金剛石壓頭,，分為三角錐或四棱錐等類型,。試驗時，首先輸入初始參數(shù),，之后的檢測過程則*由微機自動控制,，通過改變移動線圈系統(tǒng)中的電流，可以操縱加載系統(tǒng)和壓頭的動作,，壓頭壓入載荷的測量和控制通過應(yīng)變儀來完成,，同時應(yīng)變儀還將信號反饋到移動線圈系統(tǒng)以實現(xiàn)閉環(huán)控制，從而按照輸入?yún)?shù)的設(shè)置完成試驗,。
BRUKER納米壓痕儀可適用于有機或無機,、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析，包括PVD,、CVD,、PECVD薄膜，感光薄膜,，彩繪釉漆,，光學(xué)薄膜，微電子鍍膜,，保護性薄膜,，裝飾性薄膜等等?；w可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料,，包括金屬、合金,、半導(dǎo)體,、玻璃、礦物和有機材料等,?？捎糜诎雽?dǎo)體技術(shù)(鈍化層、鍍金屬、BondPads),；存儲材料(磁盤的保護層,、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護層),；光學(xué)組件(接觸鏡頭,、光纖、光學(xué)刮擦保護層),；金屬蒸鍍層,；防磨損涂層(TiN，TiC,，DLC,，切割工具)；藥理學(xué)(藥片,、植入材料,、生物組織)；工程學(xué)(油漆涂料,、橡膠,、觸摸屏、MEMS)等行業(yè),。
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