納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試,,測試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計算得出,,無需通過顯微鏡觀察壓痕面積 .
主要應(yīng)用
半導(dǎo)體技術(shù)(鈍化層、鍍金屬,、Bond Pads),;存儲材料(磁盤的保護層、磁盤基底上的磁性涂層,、CD的保護層),;光學(xué)組件(接觸鏡頭、光纖,、光學(xué)刮擦保護層),;金屬蒸鍍層;防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具),;藥理學(xué)(藥片,、植入材料,、生物組織);工程學(xué)(油漆涂料,、橡膠,、觸摸屏、MEMS)等行業(yè),。
技術(shù)特點
1,、*符合ISO14577、ASTME2546,;
2,、光學(xué)顯微鏡自動觀察;
3,、*的熱漂移控制技術(shù),;
4、可硬度,、剛度,、彈性模量、斷裂剛度,、失效點,、應(yīng)力-應(yīng)變、蠕變性能等力學(xué)數(shù)據(jù),;
5,、適時測量載荷大??;
6、采用獨立的載荷加載系統(tǒng)與高分辨率的電容深度傳感器,;
7,、快速的壓電陶瓷驅(qū)動的載荷反饋系統(tǒng);
8,、雙標(biāo)準(zhǔn)校正:熔融石英與藍寶石 ,。
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