德圖氣探針

以聚焦的高速電子來激發(fā)出試樣表面組成元素的特征X射線,對(duì)微區(qū)成分進(jìn)行定性或定量分析的一種材料物理試驗(yàn),又稱電子探針X射線顯微分析,。電子探針分析的原理是:以動(dòng)能為10~30千電子伏的細(xì)聚焦電子束轟擊試樣表面,，擊出表面組成元素的原子內(nèi)層電子,，使原子電離,，此時(shí)外層電子迅速填補(bǔ)空位而釋放能量,，從而產(chǎn)生特征X射線,。

用波長色散譜儀(或能量色散譜儀)和檢測(cè)計(jì)數(shù)系統(tǒng),測(cè)量特征X射線的波長(或能量)和強(qiáng)度，即可鑒別元素的種類和濃度,。

在不損耗試樣的情況下,，電子探針通常能分析直徑和深度不小于1微米范圍內(nèi)、原子序數(shù)4以上的所有元素;但是對(duì)原子序數(shù)小于12的元素,，其靈敏度較差,。常規(guī)分析的典型檢測(cè)相對(duì)靈敏度為萬分之一，在有些情況下可達(dá)十萬分之一,。檢測(cè)的靈敏度因元素而異,，一般為10-14~10-16克。用這種方法可以方便地進(jìn)行點(diǎn),、線,、面上的元素分析，并獲得元素分布的圖象,。對(duì)原子序數(shù)高于10,、濃度高于10%的元素，定量分析的相對(duì)精度優(yōu)于±2%

 德圖氣探針
電子探針儀是 X射線光譜學(xué)與電子光學(xué)技術(shù)相結(jié)合而產(chǎn)生的,。1948年法國的R.卡斯坦制造了*臺(tái)電子探針儀,。1958年法國首先制造出商品儀器。電子探針儀與掃描電子顯微鏡在結(jié)構(gòu)上有許多共同處,。70年代以來生產(chǎn)的電子探針儀上一般都帶有掃描電子顯微鏡功能,，有的還附
電子探針分析
電子探針分析
加另一些附件，使之除作微區(qū)成分分析外,，還能觀察和研究微觀形貌,、晶體結(jié)構(gòu)等,。

電子探針儀(圖1)主要包括:探針形成系統(tǒng) (電子槍,、加速和聚焦部件等)、X射線信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)和顯示,、記錄系統(tǒng),、樣品室,、高壓電源和掃描系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)。