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美國(guó)康寧Corning Tropel Flatmaster 100平面度儀也稱為平面度測(cè)量?jī)x,、平整度儀、平坦度儀等,，為精密部件的制造商提供了業(yè)界的平面度及表面形態(tài)測(cè)量,。

通過(guò)非接觸式光學(xué)測(cè)量技術(shù)能在很短 的時(shí)間內(nèi)記錄下整個(gè)表面的數(shù)據(jù)。

Flatmaster 100平面度儀提供了五種納米級(jí)的解析度和高達(dá)50納米的標(biāo)準(zhǔn)精度,，能夠快速和準(zhǔn)確地對(duì)各種表面的平面度,、線型、半徑和其他表面參數(shù)進(jìn)行精密測(cè)量,。

FM100美國(guó)康寧平面度測(cè)量系統(tǒng)技術(shù)特點(diǎn)及應(yīng)用領(lǐng)域：無(wú)接觸和無(wú)損傷測(cè)量
適用多種類型材料：半導(dǎo)體,，金屬,，聚合物，陶瓷,，玻璃和其它材料
適用多種類型晶片：硅/藍(lán)寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
適用多種類型表面：研磨表面,，拋光面，超光滑面

FlatMaster 100 平面度儀可測(cè)量技術(shù)參數(shù)： 
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓,；

完整的平面度檢測(cè)和分析系統(tǒng)： 
三維/拓?fù)?合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度

FM100美國(guó)康寧平面度測(cè)量系統(tǒng)可測(cè)量多種不同指標(biāo)：
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓
完整的分析系統(tǒng)：
三維/拓?fù)?合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng),、快速、準(zhǔn)確,、穩(wěn)定的測(cè)量
超過(guò)15年的工業(yè)應(yīng)用,，幾百臺(tái)的裝機(jī)量

 
技術(shù)參數(shù)：
重復(fù)性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
分辨率：5nm （0.2μ″）
可測(cè)量工件尺寸：5mm-100mm（更小工件也可提供）
動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍：>50um
測(cè)量數(shù)據(jù)點(diǎn)：230,000百萬(wàn) / measurement
測(cè)量時(shí)間：5秒
電源：～220V 50Hz

美國(guó)康寧Flat master 100平面度測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用實(shí)例：
Tropel FlatMaster100能測(cè)量物件的zui大尺寸100mm?？蛻艋亩ㄖ颇軌驖M足不同用戶對(duì)動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍,、精度和功能部件等內(nèi)容的不同需求。
FlatMaster 100平面度測(cè)量設(shè)備采用激光干涉原理,，一次性測(cè)試整個(gè)平面,，同時(shí)獲取230,000個(gè)點(diǎn)的數(shù)據(jù),，應(yīng)對(duì)產(chǎn)品表面的劃痕,，沙眼，崩角,，凹凸不平,，毛刺等問(wèn)題可以直觀的顯示在測(cè)量結(jié)果
中。
FlatMaster100配備由美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)局NIST出具證書(shū)的可追溯的標(biāo)準(zhǔn)片,，可隨時(shí)驗(yàn)證機(jī)器性能,，使得測(cè)量數(shù)據(jù)更具備說(shuō)服力與可靠性。
在您的工廠或車間里添加平面度測(cè)量?jī)x能夠使制程,、良率和生產(chǎn)率得到*的提升,。