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FT-351高溫四探針電阻率測試系統(tǒng)

一,、概述：

采用由四探針雙電測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫試驗箱結合配置的高溫測試探針治具，滿足半導體材料因溫度變化對電阻值變化的測量要求,，通過良好的測控軟件可以顯示出溫度與電阻,，電阻率，電導率數(shù)據(jù)的變化曲線,，是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的一種重要的工具,。

二、適用行業(yè)：

廣泛用于：生產企業(yè),、高等院校,、科研部門對導電陶瓷、硅,、鍺單晶（棒料,、晶片）電阻率、測定硅外延層,、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜的方塊電阻,、電阻率和電導率數(shù)據(jù).

三、高溫四探針電阻率測試儀功能介紹：

液晶顯示,，無需人工計算,，并帶有溫度補償功能，電阻率單位自動選擇,，儀器自動測量并根據(jù)測試結果自動轉換量程,，無需人工多次和重復設置。采用高精度AD芯片控制,，恒流輸出,，結構合理、質量輕便,，運輸安全,、使用方便；配備軟件可以由電腦操控,，并保存和打印數(shù)據(jù),，自動生成報表；

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,，同時顯示液晶顯示：電阻,、電阻率,、方阻、溫度,、單位換算,、溫度系數(shù)、電流,、電壓,、探針形狀、探針間距,、厚度 ,、電導率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求,。

測試治具可以根據(jù)產品及測試項目要求選購.

雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量,。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法標準并參考美國 A.S.T.M 標準。

利用電流探針,、電壓探針的變換,，進行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進行雙電測分析,，自動消除樣品幾何尺寸,、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響，

它與單電測直線或方形四探針相比,，大大提高度,，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。

四,、高溫四探針電阻率測試儀技術參數(shù)資料

1.方塊電阻范圍：10^-5～2×10⁵Ω/□

2.電阻率范圍：10^-6×10⁶cm

3.測試電流范圍：0.1μA ,，1μA，10μA,，100µA,，1mA，10mA,，100 mA

4.電流精度：±0.1%讀數(shù)

5.電阻精度：≤0.3%

6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻,、電阻率、方阻,、溫度,、單位換算、溫度系數(shù),、電流,、電壓、探針形狀、探針間距,、厚度 ,、電導率

7.測試方式: 雙電測量

8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W

9.整機不確定性誤差: ≤4%（標準樣片結果）

10. zui高溫度： 1200℃可調節(jié)；沖溫值：≤1-3℃,；控溫精度：±1°C

11,、升溫速度：9999分鐘以內自由設定,一般10分鐘內即可升到900℃；功率：3kw.

12,、爐膛材料：采用復合陶瓷纖維材料，具有真空成型,，高溫不掉粉的特征,。

13.測試PC軟件一套，USB通訊接口,，軟件界面同步顯示,、分析、保存和打印數(shù)據(jù),！

14.選購：電腦和打印機

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