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涂層雙電測電四探針方阻電阻率測試儀
雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測量,。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針,、電壓探針的變換,,進(jìn)行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析,,自動消除樣品幾何尺寸,、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響,,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高度,,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)
涂層雙電測電四探針方阻電阻率測試儀
1.方塊電阻范圍:10-4~2×103Ω/□
2.電阻率范圍:10-5~2×104Ω-cm
3.測試電流范圍:10μA,,100μA,1mA,,10mA,,100 mA
4.電流精度:±0.2%讀數(shù)
5.電阻精度:≤0.3%
6.顯示讀數(shù):液晶顯示:電阻、電阻率,、方阻,、溫度、單位換算,、溫度系數(shù),、電流、電壓,、探針形狀,、探針間距、厚度 ,、電導(dǎo)率
7.測試方式: 雙電測量
8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W
9.整機(jī)不確定性誤差: ≤4%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果)
10.選購功能: 選購1.pc軟件,; 選購2.方形探頭; 選購3.直線形探頭,; 選購4.測試平臺
11.測試探頭: 探針間距選購:1mm,;2mm;3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購:碳化鎢針;白鋼針,;鍍金磷銅半球形針
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