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普通四探針方阻電阻率測(cè)試儀
按照硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》,、GB/T 1551-1995《硅,、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針法》,、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn),,本機(jī)配置232電腦接口及USB兩種接口,,
本機(jī)采用范德堡測(cè)量原理能改善樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng),、探針不等距和機(jī)械游移等外部因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響及誤差,,比市場(chǎng)上其他普通的四探針測(cè)試方法更加完善和進(jìn)步,特別是方塊電阻值較小的產(chǎn)品測(cè)量,更加準(zhǔn)確.
本儀器本儀器采用四探針單電測(cè)量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校,、科研部門,,是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料,。
液晶顯示,,無需人工計(jì)算,并帶有溫度補(bǔ)償功能,,電阻率單位自動(dòng)選擇,,儀器自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程,無需人工多次和重復(fù)設(shè)置,。采用高精度AD芯片控制,,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理,、質(zhì)量輕便,,運(yùn)輸安全、使用方便,;選配:配備軟件可以由電腦操控,,并保存和打印數(shù)據(jù),自動(dòng)生成報(bào)表,;
本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,,同時(shí)顯示液晶顯示:電阻、電阻率,、方阻,、溫度、單位換算,、溫度系數(shù),、電流、電壓,、探針形狀,、探針間距、厚度 ,、電導(dǎo)率,,配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購.
規(guī)格型號(hào) | FT-331 | FT-332 | FT-333 | FT-334 | FT-335 | FT-336 |
1.方塊電阻范圍 | 10-5~2×105Ω/□ | 10-4~2×103Ω/□ | 10-3~2×105Ω/□ | 10-3~2×103Ω/□ | 10-2~2×105Ω/□ | 10-2~2×103Ω/□ |
2.電阻率范圍 | 10-6×106Ω-cm | 10-5×104Ω-cm | 10-4~2×106Ω-cm | 10-4~2×104-cm | 10-3~2×106Ω-cm | 10-3~2×104-cm |
3.測(cè)試電流范圍 | 0.1μA ,,1μA,,10μA,100μA,,1mA,,10mA,100 mA | 10μA,100μA,,1mA,,10mA,100 mA | 0.1μA ,,1μA,,10μA,100μA,,1mA,,10mA,100 mA | 10μA,,100μA,,1mA,10mA,, 100 mA | 0.1μA,,1μA,10μA,,100μA,,1mA,10mA,,100 mA | 1μA,,10μA,100μA,,1mA,,10mA,100 mA |
4.電流精度 | ±0.1%讀數(shù) | ±0.2%讀數(shù) | ±0.2%讀數(shù) | ±0.3%讀數(shù) | ±0.3%讀數(shù) | ±0.3%讀數(shù) |
5.電阻精度 | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.5% | ≤0.5% | ≤0.5% |
6.顯示讀數(shù) | 液晶顯示:電阻,、電阻率,、方阻、溫度,、單位換算、溫度系數(shù),、電流,、電壓、探針形狀,、探針間距,、厚度 、電導(dǎo)率 | |||||
7.測(cè)試方式 | 普通單電測(cè)量 | |||||
8.工作電源 | 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W | |||||
9.整機(jī)不確定性誤差 | ≤4%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果) | |||||
10.選購功能 | 選購1.pc軟件,; 選購2.方形探頭,; 選購3.直線形探頭; 選購4.測(cè)試平臺(tái) | |||||
11.測(cè)試探頭 | 探針間距選購:1mm;2mm,;3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購:碳化鎢針;白鋼針,;鍍金磷銅半球形針 |
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