按照硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》,、GB/T 1551-1995《硅,、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針法》,、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn),，本機(jī)配置232電腦接口及USB兩種接口,，

本機(jī)采用范德堡測(cè)量原理能改善樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng),、探針不等距和機(jī)械游移等外部因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響及誤差,，比市場(chǎng)上其他普通的四探針測(cè)試方法更加完善和進(jìn)步,特別是方塊電阻值較小的產(chǎn)品測(cè)量，更加準(zhǔn)確.

本儀器本儀器采用四探針單電測(cè)量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校,、科研部門,，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料,。

液晶顯示,，無需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能,，電阻率單位自動(dòng)選擇,，儀器自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置,。采用高精度AD芯片控制,，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理,、質(zhì)量輕便,，運(yùn)輸安全、使用方便,；選配：配備軟件可以由電腦操控,，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成報(bào)表,；

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,，同時(shí)顯示液晶顯示：電阻、電阻率,、方阻,、溫度、單位換算,、溫度系數(shù),、電流、電壓,、探針形狀,、探針間距、厚度 ,、電導(dǎo)率,，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購.

規(guī)格型號(hào)	FT-331	FT-332	FT-333	FT-334	FT-335	FT-336
1.方塊電阻范圍	10^-5～2×10⁵Ω/□	10^-4～2×10³Ω/□	10^-3～2×10⁵Ω/□	10^-3～2×10³Ω/□	10^-2～2×10⁵Ω/□	10^-2～2×10³Ω/□
2.電阻率范圍	10^-6×10⁶Ω-cm	10^-5×10⁴Ω-cm	10^-4～2×10⁶Ω-cm	10^-4～2×10⁴-cm	10^-3～2×10⁶Ω-cm	10^-3～2×10⁴-cm
3.測(cè)試電流范圍	0.1μA ,，1μA,，10μA，100μA,，1mA,，10mA，100 mA	10μA，100μA,，1mA,，10mA，100 mA	0.1μA ,，1μA,，10μA，100μA,，1mA,，10mA，100 mA	10μA,，100μA,，1mA，10mA,， 100 mA	0.1μA,，1μA，10μA,，100μA,，1mA，10mA,，100 mA	1μA,，10μA，100μA,，1mA,，10mA，100 mA
4.電流精度	±0.1%讀數(shù)	±0.2%讀數(shù)	±0.2%讀數(shù)	±0.3%讀數(shù)	±0.3%讀數(shù)	±0.3%讀數(shù)
5.電阻精度	≤0.3%	≤0.3%	≤0.3%	≤0.5%	≤0.5%	≤0.5%
6.顯示讀數(shù)	液晶顯示：電阻,、電阻率,、方阻、溫度,、單位換算、溫度系數(shù),、電流,、電壓、探針形狀,、探針間距,、厚度、電導(dǎo)率
7.測(cè)試方式	普通單電測(cè)量
8.工作電源	輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功耗：<30W
9.整機(jī)不確定性誤差	≤4%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果）
10.選購功能	選購1.pc軟件,；選購2.方形探頭,；選購3.直線形探頭；選購4.測(cè)試平臺(tái)
11.測(cè)試探頭	探針間距選購：1mm；2mm,；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購：碳化鎢針;白鋼針,；鍍金磷銅半球形針

普通四探針方阻電阻率測(cè)試儀

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