四探針電阻率/方阻測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶,、鍺單晶、硅片)電阻率,，以及擴(kuò)散層,、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜,、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器,。它主要由電氣測量部份測試架及四探針頭組成。本儀器的特點是主機(jī)配置雙數(shù)字表,，在測量電阻率的同時,，另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全程的電流變化,，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換,，更及時掌控測量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源,，使測量電流高度穩(wěn)定,。本機(jī)配有恒流源開關(guān)，在測量某些箔層材料時,，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生,，更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品：“小游移四探針頭”,，探針游移率在0.1～0.2%,。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。

    四探針電阻率測試儀如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器,，測量硅片時可自動進(jìn)行厚度,、直徑、探針間距的修正,，并計算,、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化,、平均百分變化,、徑向電阻率不均。給測量帶來很大方便。

四探針電阻率測試儀技術(shù)參數(shù)：

(1)測量范圍：  

可測電阻率：0.0001～19000Ω•cm  

可測方塊電阻：0.001～1900Ω•□  

(2)恒流源：  

輸出電流：DC0.001～100mA五檔連續(xù)可調(diào)  

量程：0.001～0.01mA  

0.01～0.10mA  

0.10～1.0mA  

1.0～10mA  

10～100mA  

恒流精度：各檔均低于±0.05%  

(3)直流數(shù)字電壓表：  

測量范圍：0～199.99mV  

靈敏度：10μV  

基本誤差：±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度)  

輸出電源：≥1000ΩM