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四探針電阻測試儀的技術(shù)指標(biāo)

時間:2020/10/23閱讀:2082
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四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備,,用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻),。
 
四探針測試儀由主機,、測試臺,、四探針探頭,、計算機等部分組成,,測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析,然后以表格,,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果,。
 
四探針電阻測試儀的技術(shù)指標(biāo):
 
1.方塊電阻范圍:10-4~2×103Ω/□
 
2.電阻率范圍:10-5~2×104Ω-cm
 
3.測試電流范圍:10μA,100μA,,1mA,,10mA,100 mA
 
4.電流精度:±0.2%讀數(shù)
 
5.電阻精度:≤0.3%
 
6.顯示讀數(shù):液晶顯示:電阻,、電阻率,、方阻、溫度,、單位換算,、溫度系數(shù)、電流,、電壓,、探針形狀、探針間距,、厚度 ,、電導(dǎo)率
 
7.測試方式: 普通單電測量

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