電阻率是反映半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的重要參數(shù)之一。測(cè)量電阻率的方法很多,，四探針法是一種廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法,。它的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備簡(jiǎn)單、操作方便,，度高,，對(duì)樣品的形狀無嚴(yán)格要求。

　　常用的是直線型四探針,。四根探針的針尖在同一直線上,，并且間距相等，都是S,，一般采用0.5mm的間距,，不同的探針間距需要對(duì)測(cè)量結(jié)果做相應(yīng)的校正。

　　四探針電阻率測(cè)試儀測(cè)試四探針筆方法：

　　一般情況下,，更換鋼針之類,，不需要拆開探頭，只需要用拔出要更換的鋼針,，再重新安裝新針,，如果斷針在孔內(nèi)并且不拆開難以取出，必須按照以下步驟進(jìn)行操作：

　　1,、先松開筆身尾部端側(cè)面的固定小螺絲,，輕輕脫下尾部航空插口，保證探針頭部旋轉(zhuǎn)時(shí)同步旋轉(zhuǎn),，防止扭線斷線,，短接;

　　2、輕輕擰開探針頭子,，然后小心將銅片拉出,，記住七片絕緣片與銅片之間的位置，(四片銅片每片間夾一片絕緣片,，兩邊的銅片外側(cè)各兩片),，將斷針從銅片卡口座里取下即可;

　　3、特別注意一定不能將銅片取下時(shí)的位置錯(cuò)亂，銅片位置按照航空頭四芯1234接線綠紅黃黑的順序一字排列,，并且銅片之間按照寬窄順序互相交叉排列,，以免短接;

　　4、安裝時(shí)銅片及絕緣片按照拆下時(shí)的排列輕輕塞進(jìn)探針頭子,，并先將探針頭子擰緊,，再將尾部航空頭插上，并且旋緊小螺絲;

　　5,、將針裝好,，注意針頭針尾方向,，尖頭為探針頭部,。