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表面電阻率測試儀測量采用三電極法對試樣進(jìn)行測試,,其試驗(yàn)裝置主要有平板式電極裝置和高阻計(jì)兩部分組成,。基本原理是對試樣加入不同擋位的直流電壓,,流經(jīng)試樣的微弱電流用標(biāo)準(zhǔn)電阻取樣放大后,,從高阻計(jì)上讀出,。數(shù)字直接顯示出電阻值,精度高、顯示迅速,、穩(wěn)定性好,、讀數(shù)方便。
根據(jù)歐姆定律,,被測電阻Rx等于施加電壓V除以通過的電流I,。傳統(tǒng)的高阻計(jì)的工作原理是測量電壓V固定,通過測量流過取樣電阻的電流I來得到電阻值,。
從歐姆定律可以看出,,由于電流I是與電阻成反比,而不是成正比,,所以電阻的顯示值是非線性的,,即電阻無窮大時,電流為零,,即表頭的零位處是∞,,其附近的刻度非常密,分辨率很低,。
整個刻度是非線性的,。又由于測量不同的電阻時,其電壓V也會有些變化,,所以普通的高阻計(jì)是精度差,、分辨率低。
本儀器是同時測出電阻兩端的電壓V和流過電阻的電流I,,通過內(nèi)部的大規(guī)模集成電路完成電壓除以電流的計(jì)算,,然后把所得到的結(jié)果經(jīng)過A/D轉(zhuǎn)換后以數(shù)字顯示出電阻值,即便是電阻兩端的電壓V和流過電阻的電流I是同時變化,,其顯示的電阻值不象普通高阻計(jì)那樣因被測電壓V的變化或電流I的變化而變,,所以,即使測量電壓,、被測量電阻,、電源電壓等發(fā)生變化對其結(jié)果影響不大,其測量精度很高(),,從理論上講其誤差可以做到零,,而實(shí)際誤差可以做到千分之幾或萬分之幾。
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