表面電阻率測(cè)試儀測(cè)量采用三電極法對(duì)試樣進(jìn)行測(cè)試，其試驗(yàn)裝置主要有平板式電極裝置和高阻計(jì)兩部分組成,?；驹硎菍?duì)試樣加入不同擋位的直流電壓，流經(jīng)試樣的微弱電流用標(biāo)準(zhǔn)電阻取樣放大后,，從高阻計(jì)上讀出,。數(shù)字直接顯示出電阻值,精度高、顯示迅速,、穩(wěn)定性好,、讀數(shù)方便。

　　根據(jù)歐姆定律,，被測(cè)電阻Rx等于施加電壓V除以通過的電流I,。傳統(tǒng)的高阻計(jì)的工作原理是測(cè)量電壓V固定，通過測(cè)量流過取樣電阻的電流I來得到電阻值,。

　　從歐姆定律可以看出,，由于電流I是與電阻成反比，而不是成正比,，所以電阻的顯示值是非線性的,，即電阻無窮大時(shí)，電流為零,，即表頭的零位處是∞,，其附近的刻度非常密,，分辨率很低。

　　整個(gè)刻度是非線性的,。又由于測(cè)量不同的電阻時(shí),，其電壓V也會(huì)有些變化，所以普通的高阻計(jì)是精度差,、分辨率低,。

　　本儀器是同時(shí)測(cè)出電阻兩端的電壓V和流過電阻的電流I，通過內(nèi)部的大規(guī)模集成電路完成電壓除以電流的計(jì)算,，然后把所得到的結(jié)果經(jīng)過A/D轉(zhuǎn)換后以數(shù)字顯示出電阻值,，即便是電阻兩端的電壓V和流過電阻的電流I是同時(shí)變化，其顯示的電阻值不象普通高阻計(jì)那樣因被測(cè)電壓V的變化或電流I的變化而變,，所以,，即使測(cè)量電壓、被測(cè)量電阻,、電源電壓等發(fā)生變化對(duì)其結(jié)果影響不大,，其測(cè)量精度很高(),，從理論上講其誤差可以做到零,，而實(shí)際誤差可以做到千分之幾或萬分之幾。