材料對于推動生產力發(fā)展和社會進步起著舉足輕重的作用,。關鍵材料的研發(fā)周期更是直接決定了相關領域的發(fā)展進程。隨著科技發(fā)展,，對材料的功能和性能要求越來越高,。傳統(tǒng)材料研發(fā)手段也越來越難以滿足現代社會生產發(fā)展的需求。以高溫超導材料為例,，超導轉變溫度高的材料往往組分結構十分復雜,。隨著組分增多，獲得準確的組分依賴的相圖的工作量呈幾何級數增長,。另外,，采用傳統(tǒng)的實驗手段很難準確合成并重復獲得到某個特定的組分，而這往往是研究量子相變,，破解高溫超導機理的關鍵,。

　　材料基因組技術的出現為快速構建準確的材料相圖，縮短材料的研發(fā)周期帶來了希望,。組合薄膜制備技術作為材料基因組核心技術之一經歷了三個發(fā)展階段,，即共磁控濺射技術，陣列掩膜板技術和組合激光分子束外延技術,。

　　對于連續(xù)組分薄膜性質的研究來說,，實際的測量位置與樣品組分是一一對應的，失去了位置坐標就失去了組分的信息,。因此,，發(fā)展更加準確的高通量薄膜制備和原位表征手段十分必要，并對包括超導材料在內的多個前沿研究領域具有重要的意義,。

VTC-5RF是一款5靶頭的等離子射頻磁控濺射儀,，針對于高通量MGI(材料基因組計劃)薄膜的研究,。特別適合用于探索固態(tài)電解質材料，通過5種元素,，按16種不同配比組合,。