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石英管式微波等離子體發(fā)生裝置
  (一)性能概況
1、微波2.45GHz,；0～500W或0～1000W足額功率,，連續(xù)可調(diào)；
2,、本底真空不劣于10Pa,；工作氣體分3路控制流(入)量,；
3,、Φ50mm或Φ90mm石英管反應(yīng)室，置于微波系統(tǒng)和真空系統(tǒng)的偶合點(diǎn)上,；
4,、制冷循環(huán)水冷卻。
                                (二)典型實(shí)驗(yàn)
1,、化學(xué)氣相沉積制備金剛石薄膜,、碳納米材料等；
2,、集成電路等的刻蝕,；
3、可催化引發(fā)常規(guī)化學(xué)很難實(shí)現(xiàn)的反應(yīng),；
4,、高分子、金屬,、生物材料表面改性,。
                                 (三)產(chǎn)品特色
1、微波準(zhǔn)零泄漏,，確保人身安全,；
2、微波足額功率,，等離子體活力強(qiáng)勁,；
3、樣品升降架精巧豪,，可加熱可冷卻,；
4,、制冷循環(huán)水避免長流水費(fèi)水?dāng)_民；
5,、循環(huán)水機(jī)可聯(lián)機(jī)可獨(dú)立使用,；
6、缺水保護(hù)報(bào)警功能完善可靠,；
7,、排氣口有環(huán)保型油霧過濾器；
8,、電控系統(tǒng)功能完善靈便醒目,；
9、整機(jī)造型典雅大氣,。