XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀 特點(diǎn):
? Z適合于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏,。
? 采用聲光報(bào)警。
規(guī)格:
型 號(hào)
XP-703D
檢測對(duì)象氣體
半導(dǎo)體材料氣體(胂,、膦,、乙硼烷、硅烷,、氫氣等)
檢測原理
型半導(dǎo)體式
采樣方式
自動(dòng)吸引式
可檢測濃度
(單位:ppm)
砷烷 磷烷 乙
XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀 特點(diǎn):
¬ 于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。
¬ 采用聲光報(bào)警,。
XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀 規(guī)格:
型 號(hào) | XP-703D |
檢測對(duì)象氣體 | 半導(dǎo)體材料氣體(胂,、膦、乙硼烷,、硅烷,、氫氣等) |
檢測原理 | 型半導(dǎo)體式 |
采樣方式 | 自動(dòng)吸引式 |
可檢測濃度 (單位:ppm) | 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
檢測表示 | 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍 |
應(yīng)答速度 | 10秒以內(nèi) |