HORIBA UR-714M-B數(shù)字式自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器

常見(jiàn)的壓力控制器是UR-Z700系列,，一款數(shù)字式自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器,。根據(jù)不同用途，該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列,。該壓力調(diào)節(jié)器常運(yùn)用于MOCVD或CVD工藝中,。在工藝過(guò)程中，當(dāng)供氣壓力突然發(fā)生變化時(shí),，管道或罐體內(nèi)的壓力也隨之發(fā)生變化,，這不僅會(huì)影響整條管路流量的穩(wěn)定，可能會(huì)對(duì)整臺(tái)設(shè)備的安全造成威脅,。對(duì)于這個(gè)問(wèn)題HORIBA集團(tuán)研發(fā)出UR-Z700系列,，通過(guò)快速響應(yīng)，高精度,，穩(wěn)定控制來(lái)調(diào)整管路壓力,。面對(duì)這種情況,，只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩(wěn)定的控制壓力，氣體質(zhì)量流量控制器及反應(yīng)源液的安全穩(wěn)定運(yùn)行,。

特征

• • 可使用DeviceNet控制接口
  • 符合環(huán)保要求的RoHS處理

                 制造: HORIBA STEC

• 復(fù)合氣體/復(fù)合流量功能-氣體種類(lèi)和全流量可以由客戶(hù)更改,。
• 可變PID功能提供全流量范圍高速響應(yīng)時(shí)間（在一秒以?xún)?nèi)）
• 緊湊型氣路-不需要調(diào)壓閥，壓力傳感器和過(guò)濾器
• 穩(wěn)定氣體流量控制,，不受上流和下流壓力的影響
• 集成進(jìn)氣端壓力傳感器
• 自身多種顯示
• 精度保證1%設(shè)定流量
• 超潔凈設(shè)計(jì)：金屬密封圈,，所有都是SUS-316L不銹鋼，并且經(jīng)過(guò)表面拋光（標(biāo)準(zhǔn)）
• 緊湊型尺寸-50SLM以?xún)?nèi)采用一樣的尺寸
• 信號(hào)兼容-模擬/RS485數(shù)字模式,，DeviceNet模式

1. 網(wǎng)絡(luò)功能-通過(guò)數(shù)字信號(hào)控制?

 HORIBA UR-714M-B數(shù)字式自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器