半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺

功能：

可提供直流電壓/電流輸出,，直流電壓/電流測量和交流信號輸出以及阻抗測量

主要技術(shù)指標(biāo)：

探針臺：

1.探針臺主機(jī)：卡盤XY運(yùn)動范圍200mm*200mm,Z軸運(yùn)動范圍25mm

2.絲桿軸承確保移動,，分辨率3.5um

3.針座：精度0.7um

4.加熱臺: 溫度范圍室溫-400℃

半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺

半導(dǎo)體參數(shù)測試儀

1.直流I-V測試：

具有4路SMU,，其中2路中等功率SMU，2路高分辨率SMU, 可同時測量電壓分辨率0.5μV,、電流分辨率0.1fA

2.C-V測試：頻率1KHz-5MHz,；偏置電壓：±25V；測量精度±0.2 %

3.可實(shí)現(xiàn)C-V和I-V測量間自動切換,，不會影響測量精度

4.脈沖IV：

提供兩路快速IV/脈沖輸出,，具有任意波形產(chǎn)生功能

脈沖寬度：50ns；脈沖電平范圍：-5V~+5V,，+/-10V~0V (50 Ω負(fù)載),；電壓測量精度：±0.1%讀值, ±0.1% 量程；電流測量精度：±0.1% 讀值, ± 0.2% 量程

主要用途

支持二極管,、三極管,、MOS管等半導(dǎo)體器件以及材料的直流電流-電壓(I-V)測量，準(zhǔn)靜態(tài)和中頻電容-電壓(C-V)測量,，時域測量等,。

半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺/系統(tǒng)集成

半導(dǎo)體參數(shù)測試儀與MM探針臺/系統(tǒng)集成