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雙電測(cè)四探針測(cè)試儀|四探針電阻率測(cè)定儀
貨號(hào):ZH11751
產(chǎn)品介紹:
采用了四探針雙電測(cè)組合(亦稱雙位組合)測(cè)量新,將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,,在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測(cè)量,,能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,。因而每次測(cè)量不知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置,。由于每次測(cè)量都是對(duì)幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正,,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度,。這些,,用目前大量使用的常規(guī)四探針測(cè)量方法所生產(chǎn)的儀器是法實(shí)現(xiàn)的。
采用了四探針雙位組合測(cè)量新,,將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,,利用電流探針電壓探針的變換,,在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測(cè)量,把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和 機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,,然后以表格圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果,;
參數(shù):
適用晶片尺寸:2"~12"(配套探針臺(tái));
測(cè)量范圍 - 電阻率:10-5~105 Ω·cm(可擴(kuò)展)
方塊電阻:10-4~106Ω/□(可擴(kuò)展)
電導(dǎo)率:10-5~105s/cm,;
電阻:10-5~105Ω;
可測(cè)晶片厚度:≤3.00mm
恒流源:電流量程分為1μA,、10μA、100μA,、1mA,、10mA、100mA六檔,,檔電流連續(xù)可調(diào),;
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