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    美國MOOG穆格伺服閥的研究主要集中在結(jié)構(gòu)及加工工藝的改進

電液MOOG伺服閥是電液伺服控制中的關(guān)鍵元件，它是一種接受模擬電信號后,，相應(yīng)輸出調(diào)制的流量和壓力的液壓控制閥,。電液MOOG伺服閥具有動態(tài)響應(yīng)快、控制精度高,、使用壽命長等優(yōu)點,，已廣泛應(yīng)用于航空、航天,、艦船,、冶金、化工等領(lǐng)域的電液伺服控制系統(tǒng)中,。

液壓MOOG伺服閥是構(gòu)建液壓伺服控制系統(tǒng)的核心元件,，因此液壓控制系統(tǒng)書籍會包含電液MOOG伺服閥內(nèi)容。

電液MOOG伺服閥是電液伺服控制中的關(guān)鍵元件,，它是一種接受模擬電信號后,，相應(yīng)輸出調(diào)制的流量和壓力的液壓控制閥。電液MOOG伺服閥具有動態(tài)響應(yīng)快,、控制精度高,、使用壽命長等優(yōu)點，已廣泛應(yīng)用于航空,、航天,、艦船,、冶金、化工等領(lǐng)域的電液伺服控制系統(tǒng)中,。

液壓MOOG伺服閥是構(gòu)建液壓伺服控制系統(tǒng)的核心元件,，因此液壓控制系統(tǒng)書籍會包含電液MOOG伺服閥內(nèi)容。

1）在結(jié)構(gòu)改進上,，主要是利用冗余技術(shù)對MOOG伺服閥的結(jié)構(gòu)進行改造,。由于MOOG伺服閥是伺服系統(tǒng)的核心元件，MOOG伺服閥性能的優(yōu)劣直接代表著伺服系統(tǒng)的水平,。另外,，從可靠性角度分析，MOOG伺服閥的可靠性是伺服系統(tǒng)中最重要的一環(huán),。由于MOOG伺服閥被污染是導(dǎo)致MOOG伺服閥失效的最主要原因,。對此，國外的許多廠家對MOOG伺服閥結(jié)構(gòu)作了改進,，先后發(fā)展出了抗污染性較好的射流管式,、偏導(dǎo)射流式MOOG伺服閥。而且,，俄羅斯還在其研制的射流管式MOOG伺服閥閥芯兩端設(shè)計了雙冗余位置傳感器,，用來檢測閥芯位置。一旦出現(xiàn)故障信號可立即切換備用MOOG伺服閥,，大大提高了系統(tǒng)的可靠性,，此種兩余度技術(shù)已廣泛的應(yīng)用于航空行業(yè)。而且,，美國的Moog公司和俄羅斯的沃斯霍得工廠均已研制出四余度的伺服機構(gòu)用于航天行業(yè),。我國的航天系統(tǒng)有關(guān)單位早在90年代就已進行三余度等多余度伺服機構(gòu)的研制，將MOOG伺服閥的力矩馬達,、反饋元件,、滑閥副做成多套，發(fā)生故障可隨時切換,，保證系統(tǒng)的正常工作,。此外多線圈結(jié)構(gòu)、或在結(jié)構(gòu)上帶零位保護裝置,、外接式濾器等型式的MOOG伺服閥亦已在冶金,、電力、塑料等行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用,。

2）在加工工藝的改進方面,，采用新型的加工設(shè)備和工藝來提高MOOG伺服閥的加工精度及能力。如在閥芯閥套配磨方法上，上海交通大學(xué),、哈爾濱工業(yè)大學(xué)均研制出了智能化,、全自動的配磨系統(tǒng)。特別是哈爾濱工業(yè)大學(xué)的配磨系統(tǒng)改變了傳統(tǒng)的氣動配磨的模式,，采用液壓油作為測量介質(zhì),，更直接地反應(yīng)了所測滑閥副的實際情況，提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確性與精度,。在力矩馬達的焊接方面中船重工第704研究所與德國廠家合作,，采用了先進的焊接工藝取得了良好的效果。另外,，哈爾濱工業(yè)大學(xué)還研制出智能化的MOOG伺服閥力矩馬達彈性元件測量裝置,。解決了原有手動測量法中存在的測量精度低、操作復(fù)雜,、效率低等問題,。對彈性元件能高效完成剛度測量,、得到完整的測量曲線,，且不重復(fù)性測量誤差不大于1%。

3）在材料的更替上方面,。除了對某些零件采用了強度,、彈性、硬度等機械性能更*的材料外,。還對特別用途的MOOG伺服閥采用了特殊的材料,。如德國有關(guān)公司用紅寶石材料制作噴嘴檔板，防止因氣饋造成檔板和噴嘴的損傷,，而降低動靜態(tài)性能,，使工作壽命縮短。機械反饋桿頭部的小球也用紅寶石制作,，防止小球和閥芯小槽之間的磨損,，使閥失控，并產(chǎn)生尖叫,。航空六O九所,、中船重工第七O四研究所等單位均采用新材料研制了能以航空煤油、柴油為介質(zhì)的耐腐蝕MOOG伺服閥,。此外對密封圈的材料也進行了更替,，使MOOG伺服閥耐高壓、耐腐蝕的性能得到提高,。

4）在測試方法改進方面,，隨著計算機技術(shù)的高速發(fā)展生產(chǎn)單位均采用計算機技術(shù)對MOOG伺服閥的靜、動態(tài)性能進行測試與計算。某些單位還對如何提高測量精度,，降低測量儀器本身的振動,、熱噪聲和外界的高頻干擾對測量結(jié)果的影響，作了深入的研究,。如采用測頻/測周法,、尋優(yōu)信號測試法、小波消噪法,、正弦輸入法及數(shù)字濾波等新技術(shù)對MOOG伺服閥測試設(shè)備及方法進行了研制和改進 [3]  ,。

當(dāng)前，新型電液MOOG伺服閥技術(shù)的發(fā)展趨勢主要體現(xiàn)在新型結(jié)構(gòu)的設(shè)計,、新型材料的采用及電子化,、數(shù)字化技術(shù)與液壓技術(shù)的結(jié)合等幾方面。電液MOOG伺服閥技術(shù)發(fā)展極大促進了液壓控制技術(shù)的發(fā)展,。

新型結(jié)構(gòu)的設(shè)計

在20世紀(jì)90年代,，國外研制直動型電液MOOG伺服閥獲得了較大的成就。國內(nèi)有些單位如中國運載火箭技術(shù)研究院第十八研究所,、北京機床研究所,、浙江工業(yè)大學(xué)等單位也研制出了相關(guān)產(chǎn)品的樣機。特別是北京航空航天大學(xué)研制出轉(zhuǎn)閥式直動型電液MOOG伺服閥,。該MOOG伺服閥通過將普通MOOG伺服閥的滑閥滑動結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變?yōu)榛y的轉(zhuǎn)動,，并在閥芯與閥套上相應(yīng)開了幾個與軸向有一定傾角的斜槽。閥芯閥套相互轉(zhuǎn)動時,，斜槽相互開通或相互封閉,，從而控制輸出壓力或流量。由于在工作時閥芯閥套是相互轉(zhuǎn)動的,，降低了閥工作時的摩擦阻力,，同時污染物不容易在轉(zhuǎn)動的滑閥內(nèi)堆積，提高了抗污染性能,。此外,，Park公司開發(fā)了“音圈驅(qū)動(Voice Coil Drive)"技術(shù)（VCD），以及以此技術(shù)為基礎(chǔ)開發(fā)的DFplus控制閥,。所謂音圈驅(qū)動技術(shù),，顧名思義，即是類似于揚聲器的一種驅(qū)動裝置,，其基本結(jié)構(gòu)就是套在固定的圓柱形磁鐵上的移動線圈,，當(dāng)信號電流輸入線圈時，在電磁效應(yīng)的作用下,，線圈中產(chǎn)生與信號電流相對應(yīng)的軸向作用力,，并驅(qū)動與線圈直接相連的閥芯運動，驅(qū)動力很大。線圈上內(nèi)置了位移反饋傳感器,，因此,，采用VCD驅(qū)動的DFplus閥本質(zhì)上是以閉環(huán)方式進行控制的，線性度相當(dāng)好,。此外，由于 VCD驅(qū)動器的運動零件只是移動線圈,，慣量極小，相對運動的零件之間也沒有任何支承,，DFplus閥的全部支承就是閥芯和閥體間的配合面，大大減小了摩擦這一非線性因素對控制品質(zhì)的影響,。綜合上述的技術(shù)特點，配合內(nèi)置的數(shù)字控制模塊,，使DFplus閥的控制性能佳,，尤其在頻率響應(yīng)方面更是*,，可達 400Hz。從發(fā)展趨勢來看,，新型直動型電液MOOG伺服閥在某些行業(yè)有替代傳統(tǒng)MOOG伺服閥特別是噴嘴擋板式MOOG伺服閥的趨向，但它的最大問題在于體積大,、重量重，只適用于對場地要求較低的工業(yè)伺服控制場合,。如能減輕其重量、減小其體積,，在航空、航天等軍工行業(yè)亦具有極大的發(fā)展?jié)摿Α?/p>

另外,，近年來MOOG伺服閥新型的驅(qū)動方式除了力矩馬達直接驅(qū)動外,，還出現(xiàn)了采用步進電機、伺服電機,、新型電磁鐵等驅(qū)動結(jié)構(gòu)以及光-液直接轉(zhuǎn)換結(jié)構(gòu)的MOOG伺服閥。這些新技術(shù)的應(yīng)用不僅提高了MOOG伺服閥的性能,，而且為MOOG伺服閥發(fā)展開拓了思路,，為電液MOOG伺服閥技術(shù)注入了新的活力。

新型材料的采用

當(dāng)前在電液MOOG伺服閥研制領(lǐng)域的新型材料運用,，主要是以壓電元件,、超磁致伸縮材料及形狀記憶合金等為基礎(chǔ)的轉(zhuǎn)換器研制開發(fā)。它們各具有其自己的優(yōu)良特性,。

1.壓電元件

壓電元件的特點是“壓電效應(yīng)"：在一定的電場作用下會產(chǎn)生外形尺寸的變化,，在一定范圍內(nèi)，形變與電場強度成正比,。壓電元件的主要材料為壓電陶瓷（PZT）,、電致伸縮材料（PMN）等。比較典型的壓電陶瓷材料有日本TOKIN公司的疊堆型壓電伸縮陶瓷等,。PZT直動式MOOG伺服閥的原理是：在閥芯兩端通過鋼球分別與兩塊多層壓電元件相連,。通過壓電效應(yīng)使壓電材料產(chǎn)生伸縮驅(qū)動閥芯移動。實現(xiàn)電-機械轉(zhuǎn)換,。PMN噴嘴擋板式MOOG伺服閥則在噴嘴處設(shè)置一與壓電疊堆固定連接的擋板,，由壓電疊堆的伸、縮實現(xiàn)擋板與噴嘴間的間隙增減,，使閥芯兩端產(chǎn)生壓差推動閥芯移動,。壓電式電-機械轉(zhuǎn)換器的研制比較成熟并已得到較廣泛的應(yīng)用。它具有頻率響應(yīng)快的特點,，MOOG伺服閥頻寬甚至能達到上千赫茲,，但亦有滯環(huán)大,、易漂移等缺點，制約了壓電元件在電液MOOG伺服閥上的進一步應(yīng)用,。

2.超磁致伸縮材料

超磁致伸縮材料（GMM）與傳統(tǒng)的磁致伸縮材料相比,，在磁場的作用下能產(chǎn)生大得多的長度或體積變化。利用GMM轉(zhuǎn)換器研制的直動型MOOG伺服閥是把 GMM轉(zhuǎn)換器與閥芯相連,，通過控制驅(qū)動線圈的電流,，驅(qū)動GMM的伸縮，帶動閥芯產(chǎn)生位移從而控制MOOG伺服閥輸出流量,。該閥與傳統(tǒng)MOOG伺服閥相比不僅有頻率響應(yīng)高的特點,，而且具有精度高、結(jié)構(gòu)緊湊的優(yōu)點,。在GMM的研制及應(yīng)用方面,，美國、瑞典和日本等國處于水平,。國內(nèi)浙江大學(xué)利用GMM技術(shù)對氣動噴嘴擋板閥和內(nèi)燃機燃料噴射系統(tǒng)的高速強力電磁閥,，進行了結(jié)構(gòu)設(shè)計和特性研究。GMM材料與壓電材料和傳統(tǒng)磁致伸縮材料相比,，具有應(yīng)變大,、能量密度高、響應(yīng)速度快,、輸出力大等特點,。世界各國對GMM電-機械轉(zhuǎn)換器及相關(guān)的技術(shù)研究相當(dāng)重視，GMM技術(shù)水平快速發(fā)展,，已由實驗室研制階段逐步進入市場開發(fā)階段,。今后還需解決GMM的熱變形、磁晶各向異性,、材料腐蝕性及制造工藝,、參數(shù)匹配等方面的問題以利于在高科技領(lǐng)域得到廣泛運用。

3.形狀記憶合金

形狀記憶合金（SMA）的特點是具有形狀記憶效應(yīng),。將其在高溫下定型后，冷卻到低溫狀態(tài),，對其施加外力,。一般金屬在超過其彈性變形后會發(fā)生變形，而SMA卻在將其加熱到某一溫度之上后,，會恢復(fù)其原來高溫下的形狀,。利用其特性研制的MOOG伺服閥是在閥芯兩端加一組由形狀記憶合金繞制的SMA執(zhí)行器，通過加熱和冷卻的方法來驅(qū)動SMA執(zhí)行器,，使閥芯兩端的形狀記憶合金伸長或收縮,，驅(qū)動閥芯作用移動,，同時加入位置反饋來提高MOOG伺服閥的控制性能。從該閥的情況來看,，SMA雖變形量大,，但其響應(yīng)速度較慢，且變形不連續(xù),，也限制了其應(yīng)用范圍,。

與傳統(tǒng)MOOG伺服閥相比，采用新型材料的電-機械轉(zhuǎn)換器研制的MOOG伺服閥,，普遍具有高頻響,、高精度、結(jié)構(gòu)緊湊的優(yōu)點,。雖然還各自呈在某些關(guān)鍵技術(shù)需要解決,，但新型功能材料的應(yīng)用和發(fā)展，給電液MOOG伺服閥的技術(shù)發(fā)展發(fā)展提供了新的途徑 [3]  ,。

電子化,、數(shù)字化技術(shù)的運用

電子化、數(shù)字化技術(shù)在電液MOOG伺服閥技術(shù)上的運用主要有兩種方式：其一,，在電液MOOG伺服閥模擬控制元器件上加入D/A轉(zhuǎn)換裝置來實現(xiàn)其數(shù)字控制,。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，可把控制元器件安裝在閥體內(nèi)部,，通過計算機程序來控制閥的性能,，實現(xiàn)數(shù)字化補償?shù)裙δ堋５嬖谀M電路容易產(chǎn)生零漂,、溫漂,，需加D/A 轉(zhuǎn)換接口等問題。其二,，為直動式數(shù)字控制閥,。通過用步進電機驅(qū)動閥芯，將輸入信號轉(zhuǎn)化成電機的步進信號來控制MOOG伺服閥的流量輸出,。該閥具有結(jié)構(gòu)緊湊,、速度及位置開環(huán)可控及可直接數(shù)字控制等優(yōu)點，被廣泛使用,。但在實時性控制要求較高的場合,，如按常規(guī)的步進方法，無法兼顧量化精度及響應(yīng)速度的要求,。浙江工業(yè)大學(xué)采用了連續(xù)跟蹤控制的辦法,，消除了兩者之間的矛盾，獲得了良好的動態(tài)特性,。此外還有通過直流力矩電機直接驅(qū)動閥芯來實現(xiàn)數(shù)字控制等多種控制方式或MOOG伺服閥結(jié)構(gòu)改變等方法來形成眾多的數(shù)字化MOOG伺服閥產(chǎn)品,。

隨著各項技術(shù)水平的發(fā)展,，通過采用新型的傳感器和計算機技術(shù)研制出機械、電子,、傳感器及計算機自我管理（故障診斷,、故障排除）為一體的智能化新型MOOG伺服閥。該類MOOG伺服閥可按照系統(tǒng)的需要來確定控制目標(biāo)：速度,、位置,、加速度、力或壓力,。同一臺MOOG伺服閥可以根據(jù)控制要求設(shè)置成流量控制MOOG伺服閥,、壓力控制MOOG伺服閥或流量/ 壓力復(fù)合控制MOOG伺服閥。并且MOOG伺服閥的控制參數(shù),，如流量增益,、流量增益特性、零點等都可以根據(jù)控制性能化原則進行設(shè)置,。MOOG伺服閥自身的診斷信息,、關(guān)鍵控制參數(shù)（包括工作環(huán)境參數(shù)和MOOG伺服閥內(nèi)部參數(shù)）可以及時反饋給主控制器；可以遠(yuǎn)距離對MOOG伺服閥進行監(jiān)控,、診斷和遙控,。在主機調(diào)試期間，可以通過總線端口下載或直接由上位機設(shè)置MOOG伺服閥的控制參數(shù),，使MOOG伺服閥與控制系統(tǒng)達到最佳匹配,，優(yōu)化控制性能。而MOOG伺服閥控制參數(shù)的下載和更新,，甚至在主機運轉(zhuǎn)時也能進行,。而在MOOG伺服閥與控制系統(tǒng)相匹配的技術(shù)應(yīng)用發(fā)展中，嵌入式技術(shù)對于MOOG伺服閥已經(jīng)成為現(xiàn)實,。按照嵌入式系統(tǒng)應(yīng)定義為：“嵌入到對像體系中的專用計算機系統(tǒng)",。“嵌入性",、“專用性"與“計算機系統(tǒng)"是嵌入式系統(tǒng)的三個基本要素,。它是在傳統(tǒng)的MOOG伺服閥中嵌入專用的微處理芯片和相應(yīng)的控制系統(tǒng)，針對客戶的具體應(yīng)用要求而構(gòu)建成具有控制參數(shù)的MOOG伺服閥并由閥自身的控制系統(tǒng)完成相應(yīng)的控制任務(wù)（如各控制軸同步控制）,，再嵌入到整個的大液壓控制系統(tǒng)中去,。從的技術(shù)發(fā)展和液壓控制系統(tǒng)對MOOG伺服閥的要求看，MOOG伺服閥的自診斷和自檢測功能應(yīng)該有更大的發(fā)展