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晶圓接觸角測量儀是一款的晶圓全自動接觸角測量儀器,。該儀器包括Theta Flow光學(xué)接觸角測量儀主機,，可配置四個具有軟件控制、可水平移動,、可拋棄滴液頭的自動滴液器,，以及帶自動旋轉(zhuǎn)的全自動XYZ樣品臺。

晶圓上的接觸角測量對于評估這些材料的潤濕性和表面特性至關(guān)重要,，這些材料廣泛應(yīng)用于電子制造,。通過評估液滴與晶片表面接觸的角度，研究人員可以深入了解硅的表面能和粘附性能,。這些信息對于優(yōu)化半導(dǎo)體制造中的涂層,、光刻和鍵合等工藝至關(guān)重要。了解接觸角有助于確保晶片與生產(chǎn)過程中使用的各種材料之間的預(yù)期相互作用,，最終提高電子設(shè)備的性能和可靠性,。

晶圓接觸角測量儀應(yīng)用

• 研究表面清潔度

接觸角測量可以評估晶圓的清潔度，從而來評估表面污染物和殘留物的去除情況,。

• 確定表面自由能

通過測量接觸角,，可以推斷出表面自由能，這對于理解其他材料如何與晶圓相互作用至關(guān)重要,。

• 了解粘附性能

接觸角有助于確定應(yīng)用于晶圓的涂層和薄膜的粘附性能,。

• 研究親水性/疏水性

測量接觸角可以確定晶圓表面是親水還是疏水，從而影響光刻和蝕刻等工藝,。

• 用于質(zhì)量控制

定期的接觸角測量可以作為質(zhì)量控制過程的一部分,，以確保晶圓加工和處理的一致性。

支持晶圓接觸角測量的軟件功能

• 批量模式,，用于對一排多個晶圓進行快速測量,。

• 標(biāo)準(zhǔn)座滴法，可進行更深入的分析,。

晶圓自動旋轉(zhuǎn)臺

Theta Wafer晶圓樣品臺是一種由軟件控制的電動平臺,，用于旋轉(zhuǎn)晶圓，以實現(xiàn)直徑高達12英寸晶圓的接觸角自動定位測量,。

Theta Wafer晶圓樣品臺包括旋轉(zhuǎn)臺（T340R）和晶圓臺面（T340RW）,。晶圓臺面的插銷有助于晶圓的高精度對準(zhǔn)和定位,。定位銷還有助于在測量過程中將晶圓保持在適當(dāng)?shù)奈恢谩榱诉M一步固定晶圓,，還可以通過內(nèi)置的真空連接口連接到真空泵,。

Theta Wafer晶圓樣品臺連接到自動XYZ樣品臺，可以自動定位直徑高達12英寸的晶圓,。為了最大限度地提高旋轉(zhuǎn)臺的性能,，建議將其與四個可拋棄滴液頭滴液器結(jié)合使用。這將允許自動進行表面自由能測量,，或者在只使用水的情況下增加連續(xù)的測量次數(shù),。

產(chǎn)品參數(shù)

樣品規(guī)格

其他