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海洋光學(xué)PlasCalc 等離子體監(jiān)測控制儀
PlasCalc 等離子體監(jiān)測控制儀，實現(xiàn)200nm-1100nm波段內(nèi)的等離子體測量,，通過高級過程控制系統(tǒng)及精密數(shù)據(jù)存取算法,，只需3m就可以獲得測量結(jié)果。海洋光學(xué)特點
海洋光學(xué)Recipe編輯器Recipe編輯器有助于簡單快捷的配置,、構(gòu)建及存儲實驗方法,。對一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測量、等離子體蝕刻監(jiān)測,、表面潔度監(jiān)測,、等離子體室控制及異常污染、排放監(jiān)測等,，能夠快速簡單的構(gòu)建模塊過程控制,。 多種工具用于等離子體診斷隨PlasCalc配置的操作軟件，集成的程式編輯器能夠容易實現(xiàn)多種數(shù)學(xué)算法功能,?？蛇x的波長發(fā)生器（可以單獨購買）用于類型確認(rèn),，而波長編輯器可以用于優(yōu)化信噪比。雙窗口界面用于顯示實際光譜及所有過程控制信息,。 PlasCalc 配置說明
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PlasCalc 等離子體監(jiān)測控制儀優(yōu)點是軟件分析功能強大,光譜范圍寬,缺點是分辨率低.
