1）加熱系統(tǒng)2）Plasma系統(tǒng)3）爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)4）觸屏操作系統(tǒng)5）進(jìn)出氣法蘭組件6）爐管 7）真空系統(tǒng)。

（1）加熱系統(tǒng)：

該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,，其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，該系統(tǒng)設(shè)置有超溫,、欠溫,、斷偶報(bào)警保護(hù)功能，大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求,。溫區(qū)為單溫區(qū),，溫區(qū)長(zhǎng)440mm，異形石英管規(guī)格采用Φ60*Φ100*1200,。

（2）Plasma系統(tǒng)：

本系統(tǒng)借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體,，輝光放電等離子體中,，電子密度高，通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電,，有效利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式。

（3）爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)：

爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動(dòng),，轉(zhuǎn)速在0.25-25r/min連續(xù)可調(diào),。

（4）觸屏操作系統(tǒng)：該系統(tǒng)可以讓設(shè)備在自動(dòng)模式下高度自動(dòng)化運(yùn)行，所有參數(shù)程序設(shè)定好后自動(dòng)運(yùn)行：可實(shí)現(xiàn)按照設(shè)定程序連續(xù)工作,，可設(shè)置多工作段不同參數(shù),，并可進(jìn)行某工作段循環(huán)工作及某程序循環(huán)工作。

（5） 進(jìn)出氣法蘭組件：設(shè)備法蘭左端為進(jìn)氣端,，一側(cè)配有球閥控制的進(jìn)氣口,，另一側(cè)預(yù)留KF25接口，上部配有壓力表,，左側(cè)端面為KF50接口,。右端為出氣端，一側(cè)由球閥控制的出氣口,，另一側(cè)為KF25抽口,，上部配有真空計(jì)，右側(cè)端面為KF50接口,。

（6）爐管：爐管為異形石英管,，通過(guò)左右兩端磁流體密封法蘭實(shí)現(xiàn)真空下的回轉(zhuǎn)，

（7）真空系統(tǒng)：由一個(gè)電容真空計(jì)和一臺(tái)DRV16機(jī)械泵組成,，抽口端由KF25手動(dòng)擋板閥控制,，并配有粉塵過(guò)濾器。