1,、三段電阻絲加熱爐，加熱溫區(qū)300+300+300,，上下6點獨立控溫,，溫場均勻性好；

2,、設(shè)備兩端配有磁流體密封法蘭,，確保爐管能在真空條件下進行轉(zhuǎn)動；

3,、設(shè)備配有螺旋上料機構(gòu),，上料電機轉(zhuǎn)速可調(diào)，可自由調(diào)節(jié)上料速度,；

4,、智能一體化工控屏顯示控制，操作界面簡潔,，方便使用,。

本臺定制回轉(zhuǎn)CVD設(shè)備，可實現(xiàn)一次加3L粉料進行生產(chǎn),；從結(jié)構(gòu)上共分成主體設(shè)備,、上料機構(gòu)、收料機構(gòu)三大模塊,。 一,、主體CVD設(shè)備主體CVD設(shè)備主要包含加熱系統(tǒng)、氣路系統(tǒng),、真空系統(tǒng),、爐管回轉(zhuǎn)機構(gòu)。1,、加熱系統(tǒng)：三溫區(qū)加熱爐膛,，溫區(qū)長度300+300+300mm，總加熱功率12KW,?？販?zé)犭娕紴镵型熱電偶,，每段溫區(qū)爐膛上下各1個控溫點獨立控溫,，提高爐膛溫場均勻性。2,、氣路系統(tǒng)：6路工作氣體,，分別由5個D07-19B 500sccm N2和1個CS200A 500sccm N2質(zhì)量流量計控制進入混氣罐，另外配置1路吹掃氣路,，由1個D07-19B 5slm N2質(zhì)量流量計并聯(lián)接入混氣罐之前,，可以對整個氣路系統(tǒng)進行吹掃,。3、真空系統(tǒng)：采用BSV30真空泵,，并配置PCG550真空計檢測腔體真空度,。4、爐管回轉(zhuǎn)機構(gòu)：采用伺服電機,，并配置1:30減速機,，保證爐管回轉(zhuǎn)平穩(wěn)。 二,、上料機構(gòu)上料機構(gòu)由螺桿送料器,、升降機構(gòu)、滑動滑軌組成,，送料前通過搖動渦輪升降器手柄可以調(diào)節(jié)螺桿送料器的送料螺桿的中心高度,，與設(shè)備法蘭中心高度一致后，鎖緊升降器上方導(dǎo)柱的鎖緊手柄,；可左右移動送料螺桿至合適位置進行送料,。 三、收料機構(gòu)用真空泵將收料桶抽成真空狀態(tài),，將收料桿深入設(shè)備內(nèi)部物料處,，打開收料桿上的球閥，利用真空負壓產(chǎn)生的吸力將物料吸入收料桶內(nèi),。