使用溫度

≤1100℃

爐管尺寸

Φ100mm（適用于2-3英寸樣品,，爐管直徑可根據(jù)實際需要定制。）

爐膛材料

氧化鋁,、高溫纖維制品

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫,，PID參數(shù)自整定，操作界面為7"工控電腦,，內(nèi)置PLC控制程序,。

加熱長度

200+200mm

恒溫長度

100+100mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

單相，220V,，50Hz

最大反射功率

100W

射頻輸出接口

50 Ω, N-type, female

功率穩(wěn)定度

≤5W

諧波分量

≤-50dbc

供電電壓

單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ

整機效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷卻方式

強制風(fēng)冷

標(biāo)準(zhǔn)量程（N₂)

50sccm,，100sccm,、500sccm（可根據(jù)用戶要求定制）

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S

線性

±1%F.S

重復(fù)精度

±0.2%F.S

響應(yīng)時間

氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍

0.1～0.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

工作環(huán)境

5℃～40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10^-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X10⁵～1.33X10^-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連