1.設(shè)備參數(shù)規(guī)格：Φ280*2800mm,，最大進料量 20K，8溫區(qū)/16溫區(qū)（也可以是Φ310*3000mm 16區(qū)）,。

2.加熱元件：進口KTL電阻絲,。

3.加熱區(qū)數(shù)量：8區(qū)(可根據(jù)需求定制)，實現(xiàn)一個溫曲兩點控制(16點控溫）,，使溫場更均勻,。

4.升華區(qū)溫度：室溫至800℃，連續(xù)可調(diào),。
 保溫區(qū)溫度：室溫至400℃可調(diào),；恒溫溫度隨時間和空間波動不大于±1℃(測試方法符合國家計量標(biāo)準(zhǔn)JJF 1184-2007)。

5.升華舟容積：0.5～1克,，50～500克,，500～2000克 。

6.控溫方式：人機界面加PLC控制,，10寸液晶屏控制,，數(shù)字工控儀表雙控，采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實現(xiàn)雙控,，采用模糊型PID控制,。

7.無紙記錄：內(nèi)置存儲記錄運行工藝數(shù)據(jù)，外接USB接口,，可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù),。

8.結(jié)構(gòu)描述：①設(shè)備可電動對半開啟，自動控制冷卻降溫系統(tǒng).實現(xiàn)可控冷卻速度.②在進料端配備2路高精度質(zhì)量流量計系統(tǒng),，準(zhǔn)確控制氣體流量,，可以實現(xiàn)生產(chǎn)工藝拓展和調(diào)整。③系統(tǒng)采用自動化工藝流程,，設(shè)定好工藝一鍵操作,。降低人為因素，工藝可靠性可以達到99.9%。

9.過濾方式：系統(tǒng)采用三級過濾保護裝置,，分別采用5級微孔金屬濾網(wǎng),、2套液氮內(nèi)嵌式冷凝、90度直角臺階式過濾,。
10.爐管尺寸280MM*3M,，腔體采用三層石英管裝置，可以自動進出料,，結(jié)構(gòu)可保證真空室管不受污染,，保持較高的真空度。中層管取料方便,，易于清洗,，內(nèi)層料管分段升華后各段料容易區(qū)分，能最大限度的保證產(chǎn)品和純度和產(chǎn)率（最大升華率97%,，與材料和配置有關(guān)）,。
11.腔體采用內(nèi)控溫和外控溫相互切換，防止石英折射和散射造成的溫場不均勻現(xiàn)象,。
12.設(shè)備的正面端面都采用石英密封觀察窗,，可以**觀察生產(chǎn)中材料的提純情況，配上攝像系統(tǒng)可實現(xiàn)生產(chǎn)升華過程全監(jiān)控和記錄,。
13.抽真空端采用了主管直徑280mm的分子泵直連,，確保實驗中高真空的需求,，在直徑280mm直管中間加插板閥,，插板閥的兩端加直徑3mm細管多孔旁抽支路，防止在初真空時抽速太大影響分子擴散的方向,，導(dǎo)致材料不均勻,。

14.本底真空：機械泵系統(tǒng)：0.1Pa  分子泵系統(tǒng)5*10^-4Pa。