產(chǎn)品創(chuàng)新點(diǎn)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
1.設(shè)備參數(shù)規(guī)格:Φ280*2800mm,最大進(jìn)料量 20K,,8溫區(qū)/16溫區(qū)(也可以是Φ310*3000mm 16區(qū)),。
2.加熱元件:進(jìn)口KTL電阻絲,。
3.加熱區(qū)數(shù)量:8區(qū)(可根據(jù)需求定制),實(shí)現(xiàn)一個(gè)溫曲兩點(diǎn)控制(16點(diǎn)控溫),,使溫場(chǎng)更均勻,。
4.升華區(qū)溫度:室溫至800℃,連續(xù)可調(diào),。
保溫區(qū)溫度:室溫至400℃可調(diào),;恒溫溫度隨時(shí)間和空間波動(dòng)不大于±1℃(測(cè)試方法符合國(guó)家計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)JJF 1184-2007)。
5.升華舟容積:0.5~1克,,50~500克,,500~2000克 。
6.控溫方式:人機(jī)界面加PLC控制,,10寸液晶屏控制,,數(shù)字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實(shí)現(xiàn)雙控,,采用模糊型PID控制,。
7.無(wú)紙記錄:內(nèi)置存儲(chǔ)記錄運(yùn)行工藝數(shù)據(jù),外接USB接口,,可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù),。
8.結(jié)構(gòu)描述:①設(shè)備可電動(dòng)對(duì)半開(kāi)啟,自動(dòng)控制冷卻降溫系統(tǒng).實(shí)現(xiàn)可控冷卻速度.②在進(jìn)料端配備2路高精度質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng),,準(zhǔn)確控制氣體流量,,可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)工藝拓展和調(diào)整。③系統(tǒng)采用自動(dòng)化工藝流程,,設(shè)定好工藝一鍵操作,。降低人為因素,工藝可靠性可以達(dá)到99.9%,。
9.過(guò)濾方式:系統(tǒng)采用三級(jí)過(guò)濾保護(hù)裝置,,分別采用5級(jí)微孔金屬濾網(wǎng)、2套液氮內(nèi)嵌式冷凝,、90度直角臺(tái)階式過(guò)濾,。
10.爐管尺寸280MM*3M,腔體采用三層石英管裝置,,可以自動(dòng)進(jìn)出料,,結(jié)構(gòu)可保證真空室管不受污染,保持較高的真空度,。中層管取料方便,,易于清洗,內(nèi)層料管分段升華后各段料容易區(qū)分,能最大限度的保證產(chǎn)品和純度和產(chǎn)率(最大升華率97%,,與材料和配置有關(guān)),。
11.腔體采用內(nèi)控溫和外控溫相互切換,防止石英折射和散射造成的溫場(chǎng)不均勻現(xiàn)象,。
12.設(shè)備的正面端面都采用石英密封觀察窗,,可以**觀察生產(chǎn)中材料的提純情況,配上攝像系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)升華過(guò)程全監(jiān)控和記錄,。
13.抽真空端采用了主管直徑280mm的分子泵直連,,確保實(shí)驗(yàn)中高真空的需求,在直徑280mm直管中間加插板閥,,插板閥的兩端加直徑3mm細(xì)管多孔旁抽支路,,防止在初真空時(shí)抽速太大影響分子擴(kuò)散的方向,導(dǎo)致材料不均勻,。
14.本底真空:機(jī)械泵系統(tǒng):0.1Pa 分子泵系統(tǒng)5*10-4Pa,。