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凈化車(chē)間zui主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn),、制造,,此空間我們稱(chēng)之為凈化車(chē)間,。按照慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定,。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上,。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,,無(wú)塵是必然的要求。每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,,就達(dá)到了無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的*,。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于*,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上,。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi),,這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)的1K級(jí)別。
凈化車(chē)間一般結(jié)構(gòu)材料
1.凈化廠(chǎng)房墻,、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角,、門(mén),、窗框等一般采用氧化鋁型材制造
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,,可選用防靜電型,。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板,。
4.送風(fēng)口用不銹鋼框架,,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,,不生銹不粘塵,,宜清潔
常規(guī)參數(shù)
換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次,;1000≥30次,。
壓差:主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s,;
溫度 冬季>16℃,;夏季 <26℃;波動(dòng)±2℃,。
溫度45-65%,;GMP粉劑車(chē)間濕度在50%左右為宜;電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電,。
噪聲≤65dB(A),;
新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;
照度300LX
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