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介紹研磨法制作TEM電子顯微鏡試片的方法-切試片
閱讀：2177 發(fā)布時間：2013-2-28
TEM試片制作（在此介紹研磨法）
（一）切試片：
（1） 由試片背面切,。可選擇試片大小為：2×4 mm2,、或3×4 mm2
（2） 依序用丙酮（5min）,、異丙醇（3min）、去離子水（1min）清洗試片,。
（3） 配G1膠
（二）黏試片：
（1） 試片為”正面對正面”對黏,。
（2） 用有黏上毛的牙籤棒輕輕挑起一點G1膠后，在試片正面均勻的 輕點2點,，再拿另一試片以正面對正面的方式黏上,。
（3） 將黏好的試片放在載玻片上，并用長尾夾小心,、慢慢將試片與玻片夾緊,，如圖10。因為把多馀G1膠擠出,，在TEM的觀察中,，G1膠的厚度不能大于1μm，否則會汙染腔體,。
（4） 將試片連同載玻片一起放入烤箱中,，以120°C烤20分鐘。（可點一小滴G1膠在載玻片上,，當G1膠由淡黃色轉為紅褐色即可停止加熱）
（5） 磨小玻璃片：將載玻片切成4×6 mm2,、5×6 mm2大小，再用180號的砂紙將玻璃由矩形磨成橢圓形,。
（6） 將試片一端用180號砂紙磨平,，研磨臺轉速120,。
（7） 加熱載具：將烤盤溫度調到150°C，并將載具放在烤盤上
（8） 用熱熔膠將小玻璃片黏在載具上,，并將試片平較平整的面與玻璃相黏,。黏好后連同載具冷卻放置。
（三）磨試片： 利用研磨機把試片*面磨平,、第二面磨薄
A.磨*面：
（1） 試片沿轉盤切線方向磨,，由240號砂紙開始磨，此時轉速需調成120 rpm,。
將試片以與旋轉成切線方向磨,，以磨一圈試片轉180度的方式，共磨5圈再換280號砂紙
（3） 拋光：
經由以上的物理拋光過程,，并無法修飾表面粗糙度為0.5μm以下的粗糙面,，必需藉由化學拋光來修飾，
使用NalCo 2350拋光液（0.06μm）于拋光布上拋光,，拋光之后立即以水沖洗乾淨,，避免拋光液凝固于表面
（a） 使用長毛的拋光布來拋光。
（b） 轉40圈到顯微鏡底下看一次,。
（c） 需要一直用水清洗試片,，避免拋光液凝固。
B.磨第二面：
（1） 烤盤以150°C加熱,，并將載具連同試片放在上面加熱,。
（2） 等熱熔膠熔化后，將試片拿起來,，翻轉180度
（3） 將試片光滑面黏在另一片已經準備好的小玻璃片上,。靜置待涼。
（4）與*面相同依序砂紙?zhí)枖?shù)開始磨,。
（5）磨制砂紙400號時試片已經跟一張紙一樣薄了（約100μm）
（6）磨到試片兩端會出現(xiàn)圓頭時,，需要換成#1500的砂紙來磨，至紅光出現(xiàn),。
（7）接下來要磨到試片兩端在光學顯微鏡底下能看到黃光出現(xiàn),。
（8） 上銅環(huán)
（a） 用AB膠調配。
（b） 用牙籤上的毛沾上調配好的膠后,，輕挑一小滴在試片要黏位置上,。
（c） 用攝子將銅環(huán)位置調整好后，黏好后等20分鐘,。
（d） 將銅環(huán)及玻璃取下
參考資料:http://www.sgaaa.com/
顯微鏡 ,， 金相顯微鏡 ，工業(yè)投影儀 常識
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