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臺式薄膜沉積系統(tǒng)PVD系統(tǒng) 返回列表頁

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產(chǎn)品型號FPKOR-HEX-PVD

品牌孚光精儀

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地上海市

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更新時間：2024-12-20 11:47:52瀏覽次數(shù)：163次

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臺式薄膜沉積系統(tǒng)PVD系統(tǒng)

臺式薄膜沉積系統(tǒng)為是模塊化的PVD系統(tǒng),為您的研究和實施應用提供了多種沉積選項,?？裳b配電子束蒸發(fā)源E-beam,ORCA低溫蒸發(fā)源,熱蒸發(fā)源,磁控濺射等。

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臺式薄膜沉積系統(tǒng)是研究和開發(fā)的理想選擇,，因為它具有模塊化的特性,。所有基本元件都可以訪問，允許對各種組件進行測試,，并對幾種薄膜沉積技術中涉及的工藝進行探索,，包括：表面分析樣品制備，濺射,，熱蒸發(fā),，有機物理氣相沉積等
基本型號中支持的方法包括：金屬和光刻膠剝離工藝，EM樣品制備,，新型涂料研發(fā),，磁控濺射沉積*化
用戶可購買基本型號，在必要時升級到*高級別的組件,，這些升級是模塊化的,，安裝簡單，減少了系統(tǒng)停機時間和安裝成本,。

臺式薄膜沉積系統(tǒng)PVD系統(tǒng)

臺式薄膜沉積系統(tǒng)配有一個80升/秒的泵,，可實現(xiàn)高達8×10^-7毫巴的基本真空，并可實現(xiàn)高至100毫米的樣品尺寸,。該系統(tǒng)還配有一個多樣品支架,，可同時容納幾個較小的樣品。
臺式薄膜沉積系統(tǒng)可升級300升/秒的泵,，可實現(xiàn)4×10^-7毫巴的基本真空,。用戶也可以選擇一個較大的HEX-L室，其空間可容納多達150毫米的樣本,，或多個較小的樣本,。
臺式薄膜沉積系統(tǒng)由一個六面鋁框架高真空室組成，該室重量輕,，但足夠堅固,，適用于大多數(shù)物理氣相沉積應用。

六邊形結構支撐六塊模塊化面板,，包括：空白面板,，“視口"面板,，沉積源面板，PLD儀表過程控制面板,，包括質(zhì)量流量控制器和厚度控制,，用于現(xiàn)場監(jiān)測的QCM面板該設計使用標準化配件，包括用于氣體和水連接的Hamlet快速接頭,，以及用于樣品臺和部件附件的蝶形螺母,。這種標準化使切換面板和根據(jù)特定應用調(diào)整系統(tǒng)變得簡單。模塊化設計還使維護和重新配置*快,、*高效,。

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