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產(chǎn)品概述
MProbe Vis薄膜測(cè)厚儀大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測(cè)量,。比如：氧化物,，氮化物,，光刻膠，高分子聚合物,，半導(dǎo)體(硅,，單晶硅，多晶硅),，半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs,，CdTe, CIGS)，硬涂層(碳化硅,，類(lèi)金剛石炭),，聚合物涂層(聚對(duì)二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯,，聚酰胺
大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被MProbe Vis測(cè)厚儀測(cè)量,。比如：氧化物，氮化物,，光刻膠,，高分子聚合物，半導(dǎo)體(硅,，單晶硅,，多晶硅)，半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs,，CdTe, CIGS),，硬涂層(碳化硅，類(lèi)金剛石炭),，聚合物涂層(聚對(duì)二甲苯,，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺),。
測(cè)量范圍: 15 nm -50um
波長(zhǎng)范圍: 400 nm -1100 nm
MProbe Vis薄膜測(cè)厚儀適用于實(shí)時(shí)在線(xiàn)測(cè)量,，多層測(cè)量，非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(kù)(超過(guò)500材料),，新材料可以很容易的添加,，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。
測(cè)量指標(biāo)：薄膜厚度,，光學(xué)常數(shù)
界面友好: 一鍵式測(cè)量和分析,。
MProbe Vis薄膜測(cè)厚儀實(shí)用的工具：曲線(xiàn)擬合和靈敏度分析,，背景和變形校正，連接層和材料,，多樣品測(cè)量,，動(dòng)態(tài)測(cè)量和產(chǎn)線(xiàn)批量處理。
案例1,，300nm二氧化硅薄膜的測(cè)量：
硅晶圓反射率,，測(cè)量時(shí)間10ms：
案例2，測(cè)量500nm氮化鋁,，測(cè)量參數(shù)：厚度和表面粗糙度
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