上海富瞻環(huán)?？萍加邢薰?
產(chǎn)品概述
MProbe MSP顯微薄膜測厚儀適用于實時在線測量,，多層測量,，非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料)，新材料可以很容易的添加,，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等,。
大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量。比如：氧化物,，氮化物,，光刻膠，高分子聚合物，半導(dǎo)體(硅,，單晶硅,，多晶硅)，半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs,，CdTe, CIGS),，硬涂層(碳化硅，類金剛石炭),，聚合物涂層(聚對二甲苯,，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺),。
測量范圍: 1 nm -800um
波長范圍: 200 nm -1700 nm
光斑直徑：200um-4um
適用于實時在線測量,，多層測量，非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),，新材料可以很容易的添加,，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。
測量指標：薄膜厚度,，光學(xué)常數(shù)
界面友好強大: 一鍵式測量和分析,。
實用的工具：曲線擬合和靈敏度分析，背景和變形校正,，連接層和材料,，多樣品測量，動態(tài)測量和產(chǎn)線批量處理,。
測量100nm二氧化硅薄膜,，40um光斑直徑，波長范圍：200-1000nm：
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