緊湊式 — 模塊化 
兩種型號
CCU-010 鍍膜機(jī)提供兩種款型。CCU- 010 LV低真空鍍膜機(jī),，CCU- 010 HV 高真空鍍膜機(jī),。采用模塊化概念，便于以后把低真空鍍膜機(jī)轉(zhuǎn)變?yōu)楦哒婵斟兡C(jī),。
智能設(shè)備
不論您想要進(jìn)行濺射金屬,、碳蒸發(fā)還是等離子處理，您更換工作頭,，就能完成各種應(yīng)用,。
沒有不必要的停工期
設(shè)備基本上即開即用。通過把高質(zhì)量的材料和部件與創(chuàng)新性的思路相結(jié)合，縮短了工藝時間,。采用自動模式,，實現(xiàn)了穩(wěn)定、均勻的薄層鍍膜,。
緊湊實用
尺寸小巧，節(jié)省了寶貴的空間,。重量已經(jīng)減至低,。由于鍍膜機(jī)統(tǒng)一使用標(biāo)準(zhǔn)化的真空接口，還能與第三方設(shè)備配套使用,。
啟用簡單,，服務(wù)方便

拆開包裝，連接線路,，直接啟用,！省去了高昂的啟用成本。設(shè)備采用即插即用概念,，您自己就能啟用,。您接通電源和工藝氣體即可。
憑借一體式USB服務(wù)接口,，服務(wù)技工可以在現(xiàn)場或者通過互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程進(jìn)行快速錯誤分析,。采用模塊化配置，可以有指向性地更換有缺陷的部件,。

 亮點和特性：

·  一臺設(shè)備完成濺射,、碳蒸發(fā)和等離子處理（親水/疏水）等多項工作。
·  使用直徑54毫米,、厚度多3毫米的靶材,，可以快速、方便地更換,。
·  長壽命靶材
·  采用磁控濺射工作頭,，實現(xiàn)了細(xì)顆粒濺射，適用于高分辨率FESEM應(yīng)用領(lǐng)域,。
·  可以進(jìn)行氧化銦錫（ITO）濺射和碳濺射,。
·  玻璃工作腔Φ120毫米（DIN 100 ISO-KF兼容），帶內(nèi)爆防護(hù)和監(jiān)控,。
·  自動靶材擋板
·  以電子方式調(diào)節(jié)工作真空度,，帶皮拉尼（Pirani）和冷陰真空測量系統(tǒng)
·  自動閥門控制，用于控制兩種工作氣體和排氣
·  靶材冷卻,，帶溫度監(jiān)測
·  高度可調(diào),、可傾斜的圓形樣品臺（Φ80毫米）。樣品臺不需使用工具即可取下，便于清洗（噴砂處理）,。
·  速度受控的旋轉(zhuǎn)式或旋轉(zhuǎn)行星式樣品臺,，有多種樣品支托選配件
·  采用雙石英測量系統(tǒng)進(jìn)行膜層厚度測量（小樣品在中xin測量，大樣品在邊緣測量）
·  整體式MD 1 Vario-SP隔膜泵（HV款型）
·  整體式Hi Pace 80渦輪泵（HV款型）
·  寬范圍電源（90VAC - 260VAC)）
·  5.7英寸TFT觸摸式圖形顯示屏
·  直觀易懂的用戶軟件,，具備很多有用的功能
·  便于創(chuàng)建鍍膜工序,，保證了結(jié)果的再現(xiàn)性
·  可以存儲/查看近十次操作
·  采用基于Windows的軟件Coating LAB（鍍膜實驗室）對工藝數(shù)據(jù)進(jìn)行圖形化展示。
·  具備在斷電情況下自動排氣的功能,。此功能可以防止系統(tǒng)受到前級泵油（LV款型）的污染,。
·  USB接口，便于進(jìn)行工藝分析和軟件更新
·  統(tǒng)一接口,，用于連接不同的工作頭
·  工作頭自動識別
·  6毫米樂克利（Legris）接口,，用于連接兩種工作氣體和排氣
·  法蘭接口（DN 25 ISO-KF），用于連接外部前級泵（LV款型）
·  可以用作單純的泵送裝置
·  尺寸小,，重量輕
·  瑞士品質(zhì)