自己換算 無塵室潔凈度分級
導(dǎo)體工業(yè)是精密的工業(yè)，當(dāng)我們把計(jì)算機(jī)拆開之后,，在電路板上一顆顆小小的IC都有數(shù)百萬顆甚至數(shù)千萬顆的晶體管,。為了讓這些小的晶體管妥善的工作，制造的過程必須在無塵室內(nèi)進(jìn)行,，集成電路制造的工廠動輒需要數(shù)十億,、數(shù)百億的投資，多因?yàn)樾枰粋€無塵室,。
所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境,，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路技術(shù)的快速成長,，也增加了對制造環(huán)境（無塵室）潔靜度的需求,，在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命,。
由于奈米技術(shù)的興起,，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷的增加,，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化,。例如當(dāng)金屬塵粒地落到金屬導(dǎo)線時，就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路,。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上,，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造*的要素,。
依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Standard （FS） 209E, 1992】,，可將無塵室分為六級。分別是1級,、10級,、100級、1000級,、10000級,、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述,，則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5?m,，例如,，1級、10級,、100級無塵室大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆,、10顆、100顆,，如果塵粒尺寸不是0.5?m,，無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2?m（塵粒尺寸在0.2?m或更大下,，密度不大于75顆/立方英?）,，1級在0.1?m（塵粒尺寸在0.1?m或更大下，密度不大于35顆/立方英）,。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級,。
為保持無塵室的潔凈度，進(jìn)出的人員有一定的穿著規(guī)定,；10000與100000級，必須穿著長袍無塵衣,、無塵鞋,、帶帽子與面罩；1000級（含）以上,，需穿著特殊的潔凈連身衣,、無塵鞋將全身裹住，并帶上手套和面罩,，下表為無塵室清潔度的
定義：
塵粒數(shù)／立方英
級數(shù) 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.4μm 0.5μm
1 35 7.5 3 1 N/A
10 350 75 30 10 N/A
100 N/A 750 300 100 N/A
1000 N/A N/A N/A 1000 7
10000 N/A N/A N/A 10000 70
100000 N/A N/A N/A 100000 700
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