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自己換算 無塵室潔凈度分級

閱讀:2711      發(fā)布時間:2013-7-23
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                                             自己換算 無塵室潔凈度分級

導體工業(yè)是精密的工業(yè),,當我們把計算機拆開之后,在電路板上一顆顆小小的IC都有數(shù)百萬顆甚至數(shù)千萬顆的晶體管,。為了讓這些小的晶體管妥善的工作,,制造的過程必須在無塵室內(nèi)進行,集成電路制造的工廠動輒需要數(shù)十億,、數(shù)百億的投資,,多因為需要一個無塵室。

   所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境,,里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境,,隨著集成電路技術(shù)的快速成長,也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔靜度的需求,,在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米,,也可能阻礙產(chǎn)品的運作或降低其壽命。

   由于奈米技術(shù)的興起,,造成半導體關鍵尺寸持續(xù)縮小,,集成電路積集度不斷的增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化,。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時,,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,,所以無塵室為集成電路制造*的要素,。

   依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】,可將無塵室分為六級,。分別是1級,、10級、100級,、1000級,、10000級、100000級,,如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述,,則可假設塵粒的尺寸為0.5?m,例如,,1級,、10級、100級無塵室大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆,、10顆,、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5?m,,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示,。例如:10級在0.2?m(塵粒尺寸在0.2?m或更大下,密度不大于75顆/立方英?),,1級在0.1?m(塵粒尺寸在0.1?m或更大下,,密度不大于35顆/立方英)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級,。

   為保持無塵室的潔凈度,,進出的人員有一定的穿著規(guī)定;10000與100000級,,必須穿著長袍無塵衣,、無塵鞋、帶帽子與面罩,;1000級(含)以上,,需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住,,并帶上手套和面罩,,下表為無塵室清潔度的

   定義:
   塵粒數(shù)/立方英
   級數(shù) 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.4μm 0.5μm
      1 35 7.5 3 1 N/A
      10 350 75 30 10 N/A
      100 N/A 750 300 100 N/A
      1000 N/A N/A N/A 1000 7
      10000 N/A N/A N/A 10000 70
      100000 N/A N/A N/A 100000 700

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