Tonghui同惠TH513半導(dǎo)體C-V特性分析儀TH512

CV曲線掃描分析能力亦能滿足實(shí)驗(yàn)室對半導(dǎo)體材料及功率器件的研發(fā)及分析。

儀器設(shè)計(jì)頻率為1kHz-2MHz,，VGS電壓可達(dá)±40V,，VDS電壓可達(dá)±200V/±1500V/±3000V,，足以滿足大多數(shù)功率器件測試。

功能特點(diǎn)

A.一體化測試,，集成度高,、體積小、效率高

一臺儀器內(nèi)置了LCR數(shù)字電橋,、VGS電壓源,、VDS電壓源、高低壓切換矩陣以及上位機(jī)軟件,，將復(fù)雜的接線,、繁瑣的操作集成在支持電容式觸摸的Linux系統(tǒng)內(nèi)，操作更簡單,。特別適合產(chǎn)線快速化,、自動化測試。

B.單管器件測試,，10.1寸大屏,，四種寄生參數(shù)同屏顯示，讓細(xì)節(jié)一覽無遺

MOSFET或IGBT最重要的四個(gè)寄生參數(shù)：Ciss,、Coss,、Crss、Rg,，Cies,、Coes、Cres,、Rg均可一鍵測試,，10.1寸大屏可同時(shí)將測量結(jié)果、等效電路圖,、分選結(jié)果等重要參數(shù)同時(shí)顯示,，一目了然。

一鍵測試單管器件器件時(shí),，無需頻繁切換測試腳位、測量參數(shù),、測量結(jié)果,，大大提高了測試效率。

C.列表測試,，多個(gè),、多芯、模組器件測量參數(shù)同屏顯示

TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持最多6個(gè)單管器件,、6芯器件或6模組器件測試,，所有測量參數(shù)通過列表掃描模式同時(shí)顯示測試結(jié)果及判斷結(jié)果,。

D.曲線掃描功能（選件）

在MOSFET的參數(shù)中，CV特性曲線也是一個(gè)非常重要的指標(biāo),，如下圖

TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析,，可以以對數(shù)、線性兩種方式實(shí)現(xiàn)曲線掃描,，可同時(shí)顯示多條曲線：同一參數(shù),、不同Vg的多條曲線；同一Vg,、不同參數(shù)多條曲線,。

E.接觸檢查（Contact）功能，提前排除自動化測試隱患

F.快速通斷測試（OP_SH）,排除損壞器件

在半導(dǎo)體器件特性測試時(shí),，由于半器件本身是損壞件,，特別是多芯器件其中一個(gè)芯已經(jīng)損壞的情況下，測試雜散電容仍有可能被為合格,，而半導(dǎo)體器件的導(dǎo)通特性才是最重要的特性,。

因此，對于本身導(dǎo)通特性不良的產(chǎn)品進(jìn)行C-V特性測試是沒有必要的,，不僅僅浪費(fèi)了測量時(shí)間,，同時(shí)會由于C-V合格而混雜在良品里，導(dǎo)致成品出貨后被退回帶來損失.

TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀提供了快速通斷測試（OP_SH）功能,可用于直接判斷器件本身導(dǎo)通性能,。

G.模組式器件設(shè)置,，支持定制

針對模組式器件如雙路（Dual）MOSFET、多組式IGBT,，有些器件會有不同類型芯片混合式封裝;TH510系列CV特性分析儀針對此情況做了優(yōu)化,，常見模組式芯片Demo已內(nèi)置，特殊芯片支持定制.

H.簡單快捷設(shè)置

I.10檔分選及可編程HANDLER接口

J.支持定制化,，智能固件升級方式

同惠儀器對于客戶而言是開放的,，儀器所有接口、指令集均為開放設(shè)計(jì),，客戶可自行編程集成或進(jìn)行功能定制,，定制功能若無硬件更改，可直接通過固件升級方式更新,。

儀器本身功能完善,、BUG解決、功能升級等,，都可以通過升級固件(Firmware)來進(jìn)行更新,，而無需返廠進(jìn)行。

固件升級非常智能,，可以通過系統(tǒng)設(shè)置界面或者文件管理界面進(jìn)行,，智能搜索儀器內(nèi)存,、外接優(yōu)盤甚至是局域網(wǎng)內(nèi)升級包，并自動進(jìn)行升級

K.解決Ciss,、Coss,、Crss、Rg產(chǎn)線/自動化系統(tǒng)高速測試精度

同惠電子在電容測試行業(yè)近30年的經(jīng)驗(yàn)積累,，得以在產(chǎn)線,、自動化測試等高速高精度測試場合，都能保證電容,、電阻等測試精度,。

常規(guī)產(chǎn)線測試，提供標(biāo)準(zhǔn)0米測試夾具,，直插器件可直接插入進(jìn)行測試,，Ciss、Coss,、Crss,、Rg測試精度高。

針對自動化測試,，由于自動化設(shè)備測試工裝通常需要較長連接線,，大多自動化設(shè)備生產(chǎn)商在延長測試線時(shí)會帶來很大的精度偏差，為此,，同惠設(shè)計(jì)了2米延長線并內(nèi)置了2米校準(zhǔn),，保證Ciss、Coss,、Crss,、Rg測試精度和0米測試夾具一致。

L.半導(dǎo)體元件寄生電容知識

在高頻電路中,，半導(dǎo)體器件的寄生電容往往會影響半導(dǎo)體的動態(tài)特性,，所以在設(shè)計(jì)半導(dǎo)體元件時(shí)需要考慮下列因數(shù)

在高頻電路設(shè)計(jì)中往往需要考慮二極管結(jié)電容帶來的影響；MOS管的寄生電容會影響管子的動作時(shí)間,、驅(qū)動能力和開關(guān)損耗等多方面特性,；寄生電容的電壓依賴性在電路設(shè)計(jì)中也是至關(guān)重要，以MOSFET為例,。

M.標(biāo)配附件

Tonghui同惠TH513半導(dǎo)體C-V特性分析儀TH512

• 技術(shù)參數(shù)

• 產(chǎn)品型號			TH511		TH512	TH513
  通道數(shù)			2（可選配4/6通道）			2
  顯示	顯示器		10.1英寸(對角線)電容觸摸屏
  	比例		16:9
  	分辨率		1280×RGB×800
  測量參數(shù)			Ciss,、Coss、Crss,、Rg,，四參數(shù)任意選擇
  測試頻率	范圍		1kHz-2MHz
  	精度		0.01%
  	分辨率		10mHz                 1.00000kHz-9.99999kHz
  			100mHz               10.0000kHz-99.9999kHz
  			1Hz                      100.000kHz-999.999kHz
  			10Hz                    1.00000MHz-2.00000MHz
  測試電平	電壓范圍		5mVrms-2Vrms
  	準(zhǔn)確度		±（10%×設(shè)定值+2mV）
  	分辨率		1mVrms               5mVrms-1Vrms
  			10mVrms             1Vrms-2Vrms
  VGS電壓	范圍		0 - ±40V
  	準(zhǔn)確度		1%×設(shè)定電壓+8mV
  	分辨率		1mV               0V - ±10V
  			10mV             ±10V -±40V
  VDS電壓	范圍		0 - ±200V		0 - ±1500V	0 - ±3000V
  	準(zhǔn)確度		1%×設(shè)定電壓+100mV
  輸出阻抗			100Ω,，±2%@1kHz
  數(shù)學(xué)運(yùn)算			與標(biāo)稱值的絕對偏差Δ,，與標(biāo)稱值的百分比偏差Δ%
  校準(zhǔn)功能			開路OPEN,、短路SHORT、負(fù)載LOAD
  測量平均			1-255次
  AD轉(zhuǎn)換時(shí)間（ms/次）			快速+：0.56ms(＞5kHz) 快速：3.3ms 中速：90ms 慢速：220ms
  最高準(zhǔn)確度			0.5%（具體參考說明書）
  Ciss,、Coss,、Crss			0.00001pF - 9.99999F
  Rg			0.001mΩ - 99.9999MΩ
  Δ%			±（0.000% - 999.9%）
  多功能參數(shù)列表掃描	點(diǎn)數(shù)		50點(diǎn)，每個(gè)點(diǎn)可設(shè)置平均數(shù),，每個(gè)點(diǎn)可單獨(dú)分選
  	參數(shù)		測試頻率,、Vg、Vd,、通道
  	觸發(fā)模式		順序SEQ：當(dāng)一次觸發(fā)后,，在所有掃描點(diǎn)測量，/EOM/INDEX只輸出一次
  			步進(jìn)STEP：每次觸發(fā)執(zhí)行一個(gè)掃描點(diǎn)測量,，每點(diǎn)均輸出/EOM/INDEX,，但列表掃描比較器結(jié)果只在最后的/EOM才輸出
  圖形掃描	掃描點(diǎn)數(shù)		任意點(diǎn)可選，最多1001點(diǎn)
  	結(jié)果顯示		同一參數(shù),、不同Vg的多條曲線,；同一Vg、不同參數(shù)多條曲線
  	顯示范圍		實(shí)時(shí)自動,、鎖定
  	坐標(biāo)標(biāo)尺		對數(shù),、線性
  	掃描參數(shù)觸發(fā)方式		Vg、Vd
  		單次	手動觸發(fā)一次,，從起點(diǎn)到終點(diǎn)一次掃描完成,，下個(gè)觸發(fā)信號啟動新一次掃描
  		連續(xù)	從起點(diǎn)到終點(diǎn)無限次循環(huán)掃描
  	結(jié)果保存		圖形、文件

  
  

• 附件

標(biāo)配
配件名稱	型號
測試夾具	TH26063B
測試夾具	TH26063C
TH510夾具控制連接電纜	TH26063D
TH510測試延長線	TH26063G

同惠TH512半導(dǎo)體C-V特性分析儀

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