MKS壓力傳感器質(zhì)量流量計(jì)是以單位時間內(nèi)壓力體積的流量方式來控制氣體質(zhì)量流量的測量儀器。MKS薄膜真空計(jì),、MKS流量控制閥,、MKS流量計(jì)廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè),，鍍膜玻璃,，醫(yī)藥制藥行業(yè),，生物工程行業(yè)，適合各種氣體媒介,，常用的有氧氣,，氫氣，氮?dú)?，氯化氫氣體,，氨氣，SICL4硅烷氣體等,。

MKS壓力傳感器質(zhì)量流量計(jì) INSTRUMENTS成立于1961年,，作為半導(dǎo)體零部件的供應(yīng)商,，在氣體,、真空儀器及制程控制應(yīng)用等方面有技術(shù)獨(dú)到之處，美*機(jī)儀器MKS INSTRUMENTS產(chǎn)品起源于壓力測量和控制核心技術(shù),，延伸到材料遞送,、氣體成分分析,、靜電荷控制、工藝控制,、信息管理,、電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)，其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備和制造過程中,。美*機(jī)儀器MKS INSTRUMENTS在現(xiàn)貨的主要合作伙伴有AMEC,、NMC、SMIC,、HYNIX等,，產(chǎn)品針對300MM半導(dǎo)體市場；而美*機(jī)儀器MKS INSTRUMENTS的半導(dǎo)體設(shè)備零部件的研發(fā)和制造也主要針對300MM半導(dǎo)體工藝要求,。同時,，美*機(jī)儀器MKS INSTRUMENTS還在積極開發(fā)太陽能、環(huán)境工程和玻璃鍍膜等快速發(fā)展的市場,。美*機(jī)儀器MKS INSTRUMENTS電源,、測量、控制和復(fù)雜氣體相關(guān)的工藝監(jiān)控技術(shù)等改善了設(shè)備的完好率和產(chǎn)品成品率,，提高了生產(chǎn)產(chǎn)量和產(chǎn)品性能,，美*機(jī)儀器MKS INSTRUMENTS目前產(chǎn)品主要包括：壓力測量和控制系列的電容薄膜壓力傳感器、模擬和數(shù)字壓力控制儀器和閥等提供半導(dǎo)體工藝上,、下游壓力控制設(shè)備,；質(zhì)量流量控制器測量和控制半導(dǎo)體工藝中各種高純度、高精度氣體流量,；射頻,、直流及脈沖等離子電源、匹配器及測試工具為半導(dǎo)體工業(yè)提供了可靠的固態(tài)電源,；ASTEXI系列產(chǎn)品提供諸如用于工藝腔清潔的ASTRON氟離子發(fā)生器,，用于去膠工藝的R*EVOLUTION等離子源,，用于CVD、ALD和清洗的SEMOZON氣態(tài)和LIQUOZON液態(tài)臭氧發(fā)生器,；另外美*機(jī)儀器MKS INSTRUMENTS還提供更廣泛的真空產(chǎn)品,、氣體分析儀、靜電控制,、控制及信息技術(shù)等系列解決方案,。
2006年，美*機(jī)儀器MKS INSTRUMENTS完成了對ION SYSTEMS,、UMETRICS和NOVX的三樁收購,，大大擴(kuò)展了其制程控制產(chǎn)品系列和提升了其市場競爭力。隨著現(xiàn)貨本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,，國外芯片設(shè)備供應(yīng)商紛紛淘金于現(xiàn)貨大陸,，而本土制造廠的崛起也為零配件供應(yīng)商帶來了更大的契機(jī)。在2006年度美*機(jī)儀器MKS INSTRUMENTS營業(yè)額達(dá)到7.83億美元,。
MKS壓力傳感器質(zhì)量流量計(jì)型號如下：
120AA-00010RAJ 120AA-00010RBJ 120AA-00010RCJ 120AA-00100RAJ 120AA-00100RBJ 120AA-00100RCJ
120AA-01000RAJ 120AA-01000RBJ 120AA-01000RCJ 120AD-00001RAU 120AD-00001RBU 120AD-00001RCU
120AD-00001RDB 120AD-00001REB 120AD-00010RAU 120AD-00010RBU 120AD-00010RCU 120AD-00010RDB
120AD-00010REB 120AD-00100RAU 120AD-00100RBU 120AD-00100RCU 120AD-00100RDB 120AD-00100REB
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