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    英國(guó)RENISHAW雷尼紹光柵尺是利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置

光柵尺，也稱為RENISHAW光柵尺位移傳感器（RENISHAW光柵尺傳感器）,，是利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置,。RENISHAW光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,，可用作直線位移或者角位移的檢測(cè)。其測(cè)量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖,，具有檢測(cè)范圍大,，檢測(cè)精度高，響應(yīng)速度快的特點(diǎn),。例如,，在數(shù)控機(jī)床中常用于對(duì)刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測(cè)，來(lái)觀察和跟蹤走刀誤差,，以起到一個(gè)補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動(dòng)誤差的作用,。RENISHAW光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同，分為透射光柵和反射光柵,。

光柵尺是由標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成,。圖1所示的就是RENISHAW光柵尺的結(jié)構(gòu)。

光柵檢測(cè)裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭,，它由光源,、會(huì)聚透鏡、指示光柵,、光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成,。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多，根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和使用場(chǎng)合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭,、鏡像式讀數(shù)頭,、分光鏡式讀數(shù)頭、金屬光柵反射式讀數(shù)頭）,。

莫爾條紋

以透射光柵為例,，當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個(gè)小角度θ，并且兩個(gè)RENISHAW光柵尺刻面相對(duì)平行放置時(shí),，在光源的照射下,，位于幾乎垂直的柵紋上，形成明暗相間的條紋,。這種條紋稱為“莫爾條紋" (圖2所示),。嚴(yán)格地說(shuō)，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直,。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度,，以W表示。

ω /2* sin（θ /2）=ω /θ ,。

莫爾條紋具有以下特征：

莫爾條紋的變化規(guī)律

兩片光柵相對(duì)移過(guò)一個(gè)柵距,，莫爾條紋移過(guò)一個(gè)條紋距離。由于光的衍射與干涉作用,，莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù),，變化周期數(shù)與光柵相對(duì)位移的柵距數(shù)同步,。

放大作用

在兩光柵柵線夾角較小的情況下，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω,、柵線角θ之間有下列關(guān)系,。式中，θ的單位為rad,，W的單位為mm,。由于傾角很小，sinθ很小,，則

ω /θ

若ω =0．01mm,，θ=0.01rad，則上式可得W=1,，即光柵放大了100倍,。

均化誤差作用

莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成，例如每毫米100線的光柵,，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋,，這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了，消除了由于柵距不均勻,、斷裂等造成的誤差,。

檢測(cè)與數(shù)據(jù)處理

電子細(xì)分與判向法

光柵測(cè)量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測(cè)量。高分辨率的RENISHAW光柵尺一般造價(jià)較貴,，且制造困難,。為了提高系統(tǒng)分辨率，需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分,，RENISHAW光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法,。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí)，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋,，隨著光柵的移動(dòng),，莫爾條紋也隨之上下移動(dòng)。這樣就把對(duì)光柵柵距的測(cè)量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測(cè)量,。

在一個(gè)莫爾條紋寬度內(nèi),，按照一定間隔放置4個(gè)光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如,，柵線為50線對(duì)/mm的RENISHAW光柵尺,，其光柵柵距為0.02mm,，若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計(jì)數(shù)脈沖,，這在工業(yè)普通測(cè)控中已達(dá)到了很高精度。由于位移是一個(gè)矢量,，即要檢測(cè)其大小,，又要檢測(cè)其方向,，因此至少需要兩路相位不同的光電信號(hào)。為了消除共模干擾,、直流分量和偶次諧波,，通常采用由低漂移運(yùn)放構(gòu)成的差分放大器。由4個(gè)光敏器件獲得的4路光電信號(hào)分別送到2只差分放大器輸入端,，從差分放大器輸出的兩路信號(hào)其相位差為π/2,，為得到判向和計(jì)數(shù)脈沖，需對(duì)這兩路信號(hào)進(jìn)行整形,，首先把它們整形為占空比為1：1的方波,。然后，通過(guò)對(duì)方波的相位進(jìn)行判別比較,，就可以得到RENISHAW光柵尺的移動(dòng)方向,。通過(guò)對(duì)方波脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù)，可以得到RENISHAW光柵尺的位移和速度,。

光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活,，可安裝在機(jī)床的不同部位。

一般將主尺安裝在機(jī)床的工作臺(tái)（滑板）上,，隨機(jī)床走刀而動(dòng),，讀數(shù)頭固定在床身上，盡可能使讀數(shù)頭安裝在主尺的下方,。其安裝方式的選擇必須注意切屑,、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數(shù)頭朝上的方式安裝時(shí),，則必須增加輔助密封裝置,。另外，一般情況下,，讀數(shù)頭應(yīng)盡量安裝在相對(duì)機(jī)床靜止部件上,，此時(shí)輸出導(dǎo)線不移動(dòng)易固定，而尺身則應(yīng)安裝在相對(duì)機(jī)床運(yùn)動(dòng)的部件上（如滑板）,。

,、RENISHAW光柵尺線位移傳感器安裝基面

安裝RENISHAW光柵尺傳感器時(shí)，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機(jī)床身上,，更不能安裝在打底涂漆的機(jī)床身上,。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機(jī)床相對(duì)運(yùn)動(dòng)的兩個(gè)部件上。用千分表檢查機(jī)床工作臺(tái)的主尺安裝面與導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的方向平行度,。千分表固定在床身上,，移動(dòng)工作臺(tái)，要求達(dá)到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi),。如果不能達(dá)到這個(gè)要求,，則需設(shè)計(jì)加工一件RENISHAW光柵尺基座,。

基座要求做到：(1)應(yīng)加一根與RENISHAW光柵尺尺身長(zhǎng)度相等的基座（最好基座長(zhǎng)出RENISHAW光柵尺50mm左右）。(2)該基座通過(guò)銑,、磨工序加工,，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi)。另外,，還需加工一件與尺身基座等高的讀數(shù)頭基座,。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時(shí),，調(diào)整讀數(shù)頭位置,，達(dá)到讀數(shù)頭與RENISHAW光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右，讀數(shù)頭與RENISHAW光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右,。

,、RENISHAW光柵尺線位移傳感器主尺安裝

將光柵主尺用M4螺釘上在機(jī)床安裝的工作臺(tái)安裝面上，但不要上緊,，把千分表固定在床身上,，移動(dòng)工作臺(tái)（主尺與工作臺(tái)同時(shí)移動(dòng)）。用千分表測(cè)量主尺平面與機(jī)床導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)方向的平行度,，調(diào)整主尺M(jìn)4螺釘位置,，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時(shí)，把M2螺釘上緊,。