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矽化合物蝕刻(SiO2,、SiN4)。

光阻蝕刻,。

III-V族化合物半導(dǎo)體（GaAsn,，InP，GaN）蝕刻,。

微機電系統(tǒng),。

金屬與矽蝕刻。

陽極電鍍處理鋁腔,。

通過使用水冷系統(tǒng),、加熱器或加熱包來控制腔體溫度。

客製化的基板尺寸,，最大直徑可達12寸晶圓,。

優(yōu)異的薄膜均勻度小於±3％。

具有高均勻度氣體分佈的質(zhì)量流量控制器,。

穩(wěn)定的溫度控制,，將載盤加熱至300°C或冷卻至-20°C。

使用Tornado ICP線圈,，ICP電漿高達2000W,，可增強低溫下的沉積。

低損壞,，高速率處理,，高深寬比,。

基板具有氦氣冷卻之功能，均勻的控制溫度,。

均勻的氣體擴散,，具有優(yōu)化的氣體分佈。

靜電吸盤,。

蝕刻終點偵測（OES,，激光）相容性。

可以與傳送腔,、機械手臂和手套箱整合在一起,。