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矽化合物蝕刻SiO2,、SiN4)。

微機(jī)電系統(tǒng),。

金屬,、矽與光阻蝕刻。

陽極電鍍處理鋁腔,。

通過使用水冷系統(tǒng),、加熱器或加熱包來控制腔體溫度。

客製化的基板尺寸,，最大直徑可達(dá)12吋,。

蝕刻系統(tǒng)中，ICP,、RIE,、ALE與DRIE可在同一腔內(nèi)。

優(yōu)異的薄膜均勻度小於±3％,。

具有高均勻氣體分佈的質(zhì)量流量控制器,。

穩(wěn)定的溫度控制，將載臺(tái)加熱至200°C或冷卻至-20°C,。

使用Tornado ICP線圈,，ICP電漿高達(dá)2000W，可增強(qiáng)低溫下的沉積,。

由於使用低能量進(jìn)行蝕刻,，其損傷率也是較低的。

基板具有氦氣冷卻之功能,，均勻的控制溫度,。

均勻的氣體擴(kuò)散,，具有優(yōu)化的氣體分佈。

靜電吸盤,。

蝕刻終點(diǎn)偵測(cè)（OES,，激光）相容性。

可以與傳送腔,、機(jī)械手臂和手套箱整合在一起,。