X射線檢測(cè)設(shè)備具有一套Xray成像系統(tǒng),，四軸機(jī)器人自動(dòng)上下料，針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)的分立元件進(jìn)行在線全自動(dòng)檢測(cè),，可自適應(yīng)7英寸,，11英寸，13英寸的料盤,。該設(shè)備通過Xray發(fā)生器發(fā)出X射線,，穿透芯片內(nèi)部，由平板探測(cè)器接收X射線進(jìn)行成像,，通過圖像算法對(duì)圖像進(jìn)行分析,、判斷，確定良品與不良品,，并通過復(fù)盤功能,，確定芯片在料盤中的序號(hào)，以便后端將不良芯片挑出,。

全自動(dòng)半導(dǎo)體芯片X射線檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品特色：

算法軟件功能強(qiáng)大

1. 自主研發(fā)的復(fù)盤算法能夠?qū)崟r(shí)復(fù)盤,，邊采圖邊復(fù)盤。

2. 人機(jī)交互功能豐富,。界面圖片可拖拽,、縮放，可在復(fù)盤圖上雙擊NG芯片,，即可索引并顯示出該芯片的原圖,、NG類型等信息。

3. 自主研發(fā)的檢測(cè)算法能夠自動(dòng)準(zhǔn)確地檢測(cè)芯片的線型及芯片導(dǎo)物等不良項(xiàng),。

4. 軟件具備掃碼,、MES上傳、人工復(fù)判等功能,。

? 檢測(cè)效率高：整盤矩陣式采圖,，無需拉料卷料,；具有CCD視覺定位系統(tǒng)，機(jī)器人自動(dòng)上料,。7英寸料盤檢測(cè)用時(shí)3min(3000pcs),。

? 生產(chǎn)線對(duì)接：具備與AGV對(duì)接功能。

? 安全環(huán)保：整個(gè)設(shè)備安全互鎖,，三重防護(hù)功能,，機(jī)身表面任何部位均滿足安全輻射標(biāo)準(zhǔn)

全自動(dòng)半導(dǎo)體芯片X射線檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)項(xiàng)：

1.線型壞品，如塌線,、線擺,、線緊、線弧高,、線弧低,、平頂、飛線,、斷線等,；

2.腳型壞品，如歪釘腳,、翹釘腳,、腳變形等；

3.球型壞品,，球大小,、球走位、球畸形等,；

4.Die走位壞品,；

5.異物壞品,，如金屬絲,、多余線、多余Die,、斷頸壞品等,。