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SMC減壓閥(壓力調節(jié)器)的分類
閱讀:407 發(fā)布時間:2023-1-30減壓閥(壓力調節(jié)器) 高純度工藝氣體用 AP/SL/AP/AZ

?適合半導體等需要供給高潔凈度氣體的行業(yè)。
?主體材質為SUS316L二次熔煉或SUS316L,。
?接觸氣體部分經過電解研磨處理,。
?外部金屬密封構造。
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產品樣本
說明書
推薦型號 技術資料/用語解說
系列 | 形式 | 用途 | 主體材質 | 配管連接 | 配管尺寸 |
---|---|---|---|---|---|
AP/SL | 一段式 | 管路用(小型) | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',,3/8'' |
AP/SL | 一段式 | 管路用 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',,3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP/SL | 一段式 | 大宗氣體用 | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/2'',,3/4'',,1'' |
AP/SL | 一段式 | 一次側高壓用 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',,3/4'' |
AP/SL | 一段式 | 負壓調節(jié) | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',,3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP | 二段式 | 一次側高壓用 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',,3/8'' |
AZ | 一段式 | 管路用 | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',,3/8'' 1/2'' |
AZ | 一段式 | 一次側高壓用 | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AZ | 一段式 | 負壓調節(jié) | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',,3/8'' 1/2'' |
減壓閥(壓力調節(jié)器)/背壓閥 一般氣體用 AK/BP

?從半導體到一般行業(yè)都可使用的標準型,。
?主體材質可根據(jù)流體選擇SUS316或黃銅。
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CAD
推薦型號 技術資料/用語解說
系列 | 型號 | 用途 | 主體材質 | 配管連接 | 配管尺寸 |
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AK | 一段式 | 氣路用 | SUS316 或黃銅 | NPT內螺紋 卡套式接頭 | 1/4'',,3/8'' 1/2'' |
AK | 一段式 | 一次側高壓用 | SUS316 或黃銅 | NPT內螺紋 卡套式接頭 | 1/4'',,3/8'' 1/2'' |
AK | 一段式 | 負壓調節(jié) | SUS316 或黃銅 | NPT內螺紋 卡套式接頭 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AK | 二段式 | 一次側高壓用 | SUS316 或黃銅 | NPT內螺紋 卡套式接頭 | 1/4'' |
BP | 背壓閥 | ― | SUS316 或黃銅 | NPT內螺紋 卡套式接頭 | 1/4'' |
膜片閥 高純度工藝氣體用 AP

?用于半導體等需要高潔凈度氣體的行業(yè),。
?可作為氣體的切斷閥使用,。
?接觸氣體部分無彈簧,驅動部也使用膜片隔離,,因此減小了氣路的死區(qū),,抑制了粒子的產生。
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推薦型號 技術資料/用語解說
系列 | 形式 | 主體材質 | 配管連接 | 配管尺寸 |
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AP | 氣控型 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',,3/8'' 1/2'',,3/4'' |
AP | 小型 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',,3/4'' |
隔膜閥 高純度工藝氣體用 AZ

?用于精密洗凈及潔凈室組裝,。
?全部產品均經過了氦氣泄漏檢測。
?符合SEMI規(guī)格
?采用方便作業(yè)的鍛造主體。
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推薦型號 技術資料/用語解說
系列 | 形式 | 主體材質 | 配管連接 | 配管尺寸 |
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AZ | 氣控型 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
AZ | 手動型 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
單向閥/真空發(fā)生器/流量開關 AP

[單向閥]
?防止背壓使流體逆流,。
?構造簡單,內部的可動零部件僅為O形圈,。
?采用無彈簧的構造,,可減少因震顫等產生的顆粒,降低下游的壓力變動,。
[真空發(fā)生器]
?真空發(fā)生器,。
?用于更換氣罐時,排出配管中殘余的氣體,。
[流量開關]
?檢測配管破裂等造成的過剩流量。
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推薦型號 技術資料/用語解說
系列 | 形式 | 主體材質 | 配管連接 | 配管尺寸 |
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AP | 單向閥 | SUS316L二次熔煉 | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'',,3/8'' |
AP | 真空發(fā)生器 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'',,3/8'' |
AP | 流量開關 | SUS316L二次熔煉 SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/2'',3/4'' |
膜片閥 一般氣體用 AK

?全系列的配管連接均可選擇Rc, R或NPT,。
?從半導體到一般行業(yè)都可使用的標準型。
?可用于精密洗凈,。
?降低執(zhí)行器的高度,,實現(xiàn)產品的小型、輕量化(AK3542, 4542),。
?操做通口為M5螺紋(AK3542, 4542),。
?手輪構造經過改良、實現(xiàn)了產品的小型,、輕量化(AK3652, 4652)。
?采用有凹凸的圓形手輪,,更便于操作和確認(AK3652, 4652)。
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推薦型號 技術資料/用語解說
系列 | 形式 | 主體材質 | 配管連接 | 配管尺寸 |
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AK | 氣控型 | SUS316 | 卡套式接頭 Rc, R, NPT | 1/4'',,3/8'' |
AK | 手動型 | SUS316 | 卡套式接頭 Rc, R, NPT | 1/4'',,3/8'' |
減壓閥/一般氣體用 AK1000T

?從半導體到一般行業(yè)均可使用的標準型,。
?產品體型小,、重量輕。
質量:0.52kg、高:97.5mm,。
?內部容積小,,其體積存量少。
?配管擴展品
可從壓縮接頭,、NPT內螺紋,、Rc螺紋中選擇。
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推薦型號 技術資料/用于解說
系列 | 形式 | 主體材質 | 配管連接 | 配管尺寸 |
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AK1000T | 手動型 | SUS316 | 壓縮接頭 Rc, NPT | 1/4'',,3/8'' |