PI E-712+C-877.521+F-712.HA1 高精度單面光纖對準系統(tǒng)
E-712 數(shù)字壓電控制器:模塊化控制器,,最多可支持 6 個軸,,實現(xiàn)最高精度
高達 50 kHz 的伺服更新速率
高度穩(wěn)定的 20 位 D/A 轉換器
實時操作系統(tǒng),,實現(xiàn)出色的軌跡控制
從 Stage ID 芯片自動加載校準數(shù)據(jù),,以實現(xiàn)控制器和機械裝置的互換性
靈活的接口:TCP/IP,、USB,、RS-232;可選的寬帶模擬輸入和輸出
廣泛的軟件包
E-711.IA4:模擬接口模塊,4個輸入和輸出
E-711.SA3:增量傳感器模塊
E-711.AL41:大功率放大模塊,,4通道,,8瓦,-30 V至+135 V
C-887.52x 六足位移臺運動控制器:用于控制 6 軸并聯(lián)運動裝置的緊湊型臺式設備
使用矢量算法的復雜控制器
在笛卡爾坐標中指揮
通過命令輕松自定義坐標系
F-712.HA1:帶有H-811六腳架和 NanoCube®納米定位器的單面光子對準系統(tǒng),,帶有4個模擬輸入的E-712數(shù)字控制器,,C-887Hexapod運動控制器,2個模擬輸入,,固件例程,,快速對準功能,軟件包,。
用于 SiPh 晶圓,、光子器件,、PIC 和光纖的集成掃描/對準程序
強大的陣列對齊算法
跨多個設備、I/O 和自由度 (DoF) 快速,、同步優(yōu)化
為快速工藝開發(fā)提供廣泛而深入的軟件支持,,包括在 Windows 和 Linux 上支持 C#、Python,、LabVIEW 和 MATLAB 等流行語言
自動對準時間通常< 0.5 秒