研究背景

從古代的烽火臺到如今的光通信領(lǐng)域,，光作為一種可以承載信息的載體一直被廣泛應(yīng)用。其中,，光電探測器基于光電效應(yīng)的原理,，可將光信號轉(zhuǎn)換為電信號（響應(yīng)速度快、高靈敏度等優(yōu)勢）,，以實(shí)現(xiàn)對光強(qiáng)度,、波長、頻率等參數(shù)的測量和分析,。

光電探測器根據(jù)其工作原理和結(jié)構(gòu)特點(diǎn)可分為光電二極管,、PIN型光電二極管等，其中光電二極管是利用半導(dǎo)體PN結(jié)和內(nèi)部反射機(jī)制實(shí)現(xiàn)對入射光信號的轉(zhuǎn)換,，本次將圍繞光電二極管中的PN結(jié)電容進(jìn)行介紹,。

一、測試對象·PN結(jié)電容

PN結(jié)的最大特性是單向?qū)щ娦?/strong>,，當(dāng)正向電壓到達(dá)一定值時,，PN結(jié)被導(dǎo)通；當(dāng)反向電壓在一定范圍內(nèi)時，PN結(jié)產(chǎn)生微弱的反向飽和電流,；當(dāng)反向電壓超過一定值時,，PN結(jié)被擊穿。

在PN結(jié)處,，會因?yàn)橥饧与妷寒a(chǎn)生一定電荷積累,，這就是結(jié)電容效應(yīng)，PN結(jié)電容=擴(kuò)散電容+勢壘電容(Cj=Cb+Cd),，電容特性是隔直通交,，當(dāng)通過電容的電壓頻率很低時，結(jié)電容可以忽略,，PN結(jié)還是單向?qū)ā?/span>

在光電芯片中,，工作頻率較高，如果,，PN結(jié)的電容較大,，就更容易在高頻率下變?yōu)殡p向?qū)ǖ氖顟B(tài)?？梢?，PN結(jié)電容是越小越好。

二,、測試要求

在光電應(yīng)用中，需要測試大量探測器和激光發(fā)射器的PN結(jié)電容,，大概在1pF左右,。

三、測試過程

一說到測電容,，我們都會選擇阻抗分析儀/LCR電橋,，但同時也會遇到以下幾個難點(diǎn)：

1，電容值?。簩τ谛酒?，1pF左右的電容；對于器件,，10pF左右,，這個數(shù)值很小，對于分辨率不高的普通LCR,，沒有這個測試能力,；

2，測試頻率較高：一般1MHz起,，2MHz以內(nèi),；

3，需要較大的偏置：10V至30V，甚至還有40V,；

4,，對于芯片，在測試電容中,，pad或者pin如果在一面,，可以用兩個探針扎，兩根針的校準(zhǔn)相對簡單,；如果處在芯片的不同面,，需要用芯片的托盤作為負(fù)極連接（無法扎針），校準(zhǔn)的細(xì)節(jié)就很考究,，需要測試者較好的工程調(diào)試經(jīng)驗(yàn),。

TH2838系列是采用自動平衡電橋原理研制成功的新一代阻抗測試儀器，其0.05%的基本精度,、最快達(dá)5.6ms的測試速度,、20Hz-2MHz的頻率范圍及高達(dá)1GΩ的阻抗測試范圍可以滿足元件與材料的測量要求，特別有利于低損耗(D)電容器和高品質(zhì)因數(shù)(Q)電感器的測量,。